[发明专利]倾斜检测装置以及旋转激光装置

说明书

技术领域

本发明涉及能够基于图案来检测倾斜的倾斜检测装置以及旋转激光装置。

背景技术

作为在倾斜检测装置中使用的倾斜检测单元，广泛地使用直线运动编码器 （linearmotionencoder）、循环编码器（circleencoder）等编码器。

然而，为了使倾斜检测精度高精度化，需要使编码器大型化。此外，需要将移动量 大的部位作为检测对象，因此，不能避免装置本身的大型化。因此，难以使装置的小型化和 倾斜检测精度的高精度化并存。

发明内容

本发明的目的是提供谋求装置的小型化的倾斜检测装置以及旋转激光装置。

为了达成上述目的，在本发明的倾斜检测装置中，固定部和倾斜转动基板经由枢 轴部以能相对旋转的方式设置，所述固定部和所述倾斜转动基板的任一个与所述枢轴部整 体地构成，所述倾斜检测装置具备：倾斜检测部，设置在所述固定部和所述倾斜转动基板之 中的相对于所述枢轴部进行相对旋转的侧；以及角度检测图案，形成于所述枢轴部，所述倾 斜检测部具备：光源，向所述枢轴部照射照明光；光接收元件，对由所述枢轴部反射的照明 光进行光接收；光学系统，将图案像投影到该光接收元件；以及运算部，基于所述枢轴部进 行旋转的情况下的投影到所述光接收元件的所述图案像的投影位置来检测所述枢轴部的 旋转。

此外，在本发明的倾斜检测装置中，所述光学系统具备配设在光轴上的偏光板、偏 振光束分光器、以及1/4波长板，经由所述偏光板、所述偏振光束分光器和所述1/4波长板向 所述枢轴部照射照明光，使所述光接收元件经由所述1/4波长板和所述偏振光束分光器对 由该枢轴部反射的所述图案像进行光接收。

此外，在本发明的倾斜检测装置中，所述偏光板为形成在所述偏振光束分光器的 入射面的偏光膜，所述1/4波长板为形成在所述偏振光束分光器的射出面的1/4波长膜。

进而，此外，本发明的旋转激光装置是，一种旋转激光装置，具备：以能倾斜转动的 方式设置并且使激光光线在水平方向上偏向而旋转照射的激光照明器、使该激光照明器倾 斜的倾斜部、以及设定所述激光照明器的目标倾斜角的倾斜设定部，其中，所述倾斜设定部 具备：底板，与所述激光照明器的轴心正交；倾斜转动基板，相对于该底板经由枢轴部以能 倾斜转动的方式设置；倾斜检测器，设置于该倾斜转动基板并且对该倾斜转动基板的水平 进行检测；角度检测图案，形成于所述枢轴部；以及所述倾斜检测部，设置于所述倾斜转动 基板。

根据本发明，固定部和倾斜转动基板经由枢轴部以能相对旋转的方式设置，所述 固定部和所述倾斜转动基板的任一个与所述枢轴部整体地构成，所述本发明具备：倾斜检 测部，设置在所述固定部和所述倾斜转动基板之中的相对于所述枢轴部进行相对旋转的 侧；以及角度检测图案，形成于所述枢轴部，所述倾斜检测部具备：光源，向所述枢轴部照射 照明光；光接收元件，对由所述枢轴部反射的照明光进行光接收；光学系统，将图案像投影 到该光接收元件；以及运算部，基于所述枢轴部进行旋转的情况下的投影到所述光接收元 件的所述图案像的投影位置来检测所述枢轴部的旋转，因此，与所述倾斜转动基板的移动 量相比所述角度检测图案的移动量只是一点，能够使对所述图案像进行光接收的所述光接 收元件变小，谋求小型化以及成本的削减，并且，能够高精度地检测所述倾斜转动基板的倾 斜角。

此外，根据本发明，所述光学系统具备配设在光轴上的偏光板、偏振光束分光器、 以及1/4波长板，经由所述偏光板、所述偏振光束分光器和所述1/4波长板向所述枢轴部照 射照明光，使所述光接收元件经由所述1/4波长板和所述偏振光束分光器对由该枢轴部反 射的所述图案像进行光接收，因此，所述图案像不会被反射到所述光源侧，此外，来自该光 源的照明光不会被所述光接收元件光接收，能够使所述倾斜转动基板的倾斜检测工作稳 定。

此外，根据本发明，所述偏光板为形成在所述偏振光束分光器的入射面的偏光膜， 所述1/4波长板为形成在所述偏振光束分光器的射出面的1/4波长膜，因此，能够削减部件 个数，进一步小型化。