[发明专利]一种极紫外光源性能参数的测量系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种极紫外光源性能参数测量系统，具体涉及一种使用旋转调节结构实现极紫外光源性能参数的快速测量系统，属于极紫外光学测量领域。

背景技术

极紫外光源作为极紫外技术研究领域中的关键设备，其性能参数的测量是一个必须的关键工作。

与激光器性能参数的测量不同，激光器发出的激光可在大气环境中传播，因此可在大气环境下快速完成测量设备安装、更换、参数测试。且可通过使用分束镜对待测激光进行分光、同时完成各个性能参数的测试，如专利CN101782435B中所述。而极紫外波段的光在大气环境下几乎全部被吸收，因此极紫外光源性能参数的测量需要在真空环境下进行。且没有极紫外波段的分束镜对光进行分束，所以通常在极紫外光源研制过程中，对光源的带内的能量、光斑、脉宽、脉冲稳定性等参数的测量方法，是依次将极紫外能量计、光斑测量仪、脉宽测量仪等仪器装置安装在极紫外光源出光口处，从而进行对应参数的测量。由于每次更换出光口的测量设备，都需要将光源停止运行、拆下已经安装的测量设备，才能安装新的测量设备、开始新参数的测量，这个过程需要破坏现有的真空系统，而重新建立真空系统、启动极紫外光源耗时较长，影响光源的参数测量效率。另一方面，极紫外光源每次重新启动后，会因为工作气体Xe气、缓冲气体Ar气的稍微不同，输出的性能参数存在差异，导致不同参数间测试的工作状态不同。

发明内容

有鉴于此，为解决现有技术中多次破坏真空环境、多次更换安装测量设备、每次测量工作条件不同的问题，为了在同一工作状态下、快速的完成各个性能参数测量，提高测量效率以及测量准确性，本发明提出了一种快速测量极紫外光源性能参数的系统。并以测量极紫外光源的13.5nm±2％波长带宽内的性能参数为实施例，对该种测量系统加以说明。

根据本发明一方面，其提供了一种极紫外光源性能参数测量系统，其包括：

EUV光源腔室，其中设置有光辐照源，用于辐射光；

反射镜腔室，其中设置有反射镜，通过与滤光片的共同作用，从所述光滤出EUV光送入测量腔室；

测量腔室，其中设置有旋转调节装置；

其中，所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构；

所述旋转圆盘开有至少一个通光孔，所述至少一个前置部件装载结构固定于所述至少一个通光孔内；所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方；

所述旋转转盘的支撑调节结构包括：

第一调节杆，其为中空结构，一端固定于所述旋转圆盘，并将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上；

第二调节杆，其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔，以旋钮方式固定在支撑板上；

支撑板，其固定于所述测量腔室底部腔壁上；

其中所述第一调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘在光轴垂直面内旋转；所述第二调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘沿光轴方向前后移动。

与以往的测量方法相比，本发明提出的将测量设备关键部件(如探测器等)安装在旋转调节结构上、且共用多层膜反射镜模块的测量系统，有以下优点：避免为了测量不同性能参数，而多次停止/启动极紫外光源、拆装测量设备、破坏真空环境、改变光源工作状态，本测量系统可实现在极紫外光源的同一工作状态下快速测量其各性能参数。提高测量效率和准确性，且结构简单，安装方便，容易操作。

附图说明

图1为本发明中极紫外光源带内性能参数的测量系统的结构示意图；

图2a为本发明中旋转调节装置正视图；

图2b为本发明中旋转调节装置中轴剖面图；

图3a为本发明中测量设备前置部件装载结构正视图；

图3b为本发明中测量设备前置部件装载结构中轴剖面图；

图3c为本发明中测量设备前置部件装载结构中轴剖面图-安装一种部件实施例示意图；

图3d为本发明中测量设备前置部件装载结构中轴剖面图-安装多种部件实施例示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。

本发明目的在于提出一种可以实现极紫外(EUV)光源性能参数的快速测量系统，并以该系统在测量13.5nm±2％带宽内EUV光源性能参数为例，说明该系统的工作效果。