[发明专利]一种研磨垫及其更换方法

权利要求书

1.一种研磨垫，应用于包括研磨盘、研磨头和研磨垫修整器的研磨机台，其特征在于，所述研磨垫上表面设置有若干个区域带，并且

每个所述区域带为将所述研磨头或者所述研磨垫修整器在所述研磨垫上表面扫描时的停留时间相同且相连的区域划分成的区域带。

2.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述研磨垫可旋转地设置于所述研磨盘上，且所述研磨垫的中心与所述研磨盘的中心上下重合。

3.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述研磨头以及所述研磨垫修整器以所述研磨盘的中心为中心，距离相等半径对所述研磨垫的上表面进行扫描，以使所述若干个区域带将所述研磨垫的上表面划分为若干个同心圆环。

4.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，每个所述区域带设置有一连接处，且所述连接处的一端设置有一凸口，另一端设置有一与所述凸口匹配的卡口，以将每个所述区域带固定。

5.根据权利要求4所述的研磨垫，其特征在于，所述连接处为一斜面，且所述斜面的方向与所述研磨垫的旋转方向一致，以防止所述连接处在旋转过程中卷起。

6.一种研磨垫的更换方法，应用于包括研磨盘、研磨头和研磨垫修整器的研磨机台，其特征在于，所述方法包括：

根据所述研磨头或者所述研磨垫修整器在所述研磨垫上表面扫描时的停留时间，将所述停留时间相同且相连的区域划分成一个区域带；

根据每个所述区域带的磨损情况不同，拆卸并更换已经磨损的所述区域带，并保留未磨损的区域带。