[发明专利]一种超高填充因子的太阳电池及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201510694092.2 申请日: 2015-10-25
公开(公告)号: CN105390559A 公开(公告)日: 2016-03-09
发明(设计)人: 王亮兴;陆明 申请(专利权)人: 复旦大学
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/18
代理公司: 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人: 陆飞;盛志范
地址: 200433 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 超高 填充 因子 太阳电池 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种超高填充因子的阳电池,其特征在于结构组成:由下而上依次为上电极(1),界面层(2),PN结的发射层(3),PN结的基区(4),电池的钝化层(5),下电极(6);其中,界面层(2)的材料具有如下特点:

(1)界面层与发射层之间形成一个势垒;

(2)这个势垒方向与PN结方向相反;

(3)这个势垒高度最小为Eg-0.8eV,最大为Eg-0.4eV,Eg为PN结材料的带隙;

(4)形成这个势垒的材料向PN结区的扩散深度小于PN结的发射层厚度。

2.根据权利要求1所述的超高填充因子的阳电池,其特征在于,所述界面层(2)与PN结的发射层(3)之间形成有一个附加结,该附加结是金属半导体结、半导体同质结或异质结。

3.根据权利要求1所述的超高填充因子的阳电池,其特征在于,所述PN结材料选自Si、GaAs、CIGS、CdTe、GaInP、InP、a-Si、GaInAs、AlInP。

4.根据权利要求1所述的超高填充因子的阳电池,其特征在于,所述上电极材料选自银、铝、铜、钛银、铝银或透明导电膜,或者为丝网印刷铝或银浆料;所述下电极材料选自银、铝、铜、钛银、铝银或透明导电膜,或者选自丝网印刷铝或银浆料。

5.根据权利要求1所述的超高填充因子的阳电池,其特征在于,所述反向势垒材料选自金属银、铝、铜、钛银、铝银或透明导电膜,或者选自半导体ZnS,CIGS、CdTe、GaInP、InP、a-Si、GaInAs、AlInP、GaAs。

6.一种如权利要求1-5之一所述的太阳电池电池的制造方法,其特征在于具体步骤为:

(1)采用200微米厚p-Si<100>的硅片作为基区(4);采用旋涂法在硅片表面旋涂磷浆;

(2)硅片在氮气气氛中加热15min~60min,温度为820℃—920℃,在P型衬底上表面形成N层即发射层(3),这样PN结形成;

(3)清洗电池表面,去除表面氧化物等;

(4)蒸镀或生长界面层(2),界面层(2)与发射层(3)形成一个附加结,这个附加结的势垒高度和方向由界面层的材料决定,从而金属与N层Si界面形成一个与PN结方向相反的势垒;

(5)在界面层(2)上蒸镀上电极(1);

(6)在基区背面蒸镀或生长钝化层(5);

(7)在钝化层上蒸镀下电极(6);

(8)在400℃-800℃温度下退火,时间为1s—5min,在界面层2与N层3之间形成高度适合的附加结势垒高度。

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