[发明专利]一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构

说明书

技术领域

本发明涉及无掩膜直写光刻机技术领域，具体来说是一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构。

背景技术

吸盘是无掩膜直写光刻设备的重要组成部分，在工作过程中，吸盘通过真空吸附将需要刻蚀的基板紧紧贴合在工作台面，保证在刻蚀过程中基板的平整度，实现背面对准的图像采集，清晰采集基底背面的参考标记，并将采集到的图像传送到图像接收系统中。背面对准主要是通过转像装置观察基底（基板）上的参考标记，并通过转像装置的物像关系计算出真实基底的工作平台坐标，然后通过基底-工作平台坐标转换关系，将基底上的坐标点对映到工作平台坐标上来。

虽然在半导体光刻设备中，也有多种背面对准方式，其中所采用的光机结构也不尽相同，其均需要外加光源和图像接收系统，存在占用过多空间、结构复杂、操作复杂度高的缺点。如何简化基底的对准方式已经成为急需解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中结构复杂、操作复杂度高的缺陷，提供一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构来解决上述问题。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构，包括上吸盘和下吸盘，上吸盘和下吸盘两者固定安装，基板吸附在上吸盘的正面上，

所述的上吸盘的背面开设有左安装槽和右安装槽，左安装槽和右安装槽两者位于上吸盘的同一条直径上且两者呈镜像对应，左图像采集组件安装在左安装槽内，右图像采集组件安装在右安装槽内，左图像采集组件和右图像采集组件两者结构相同；

上吸盘上分别设有通光孔A、通光孔B、通光孔C和通光孔D，通光孔A和通光孔B分别位于左图像采集组件的两个反射棱镜的上方，通光孔C和通光孔D分别位于右图像采集组件的两个反射棱镜的上方，通光孔B和通光孔C分别与基板的两个参考标记相对应，通光孔A和通光孔D均位于基板的外围。

所述的左图像采集组件包括基座，基座安装在左安装槽内，基座上依次安装有反射棱镜A、光学成像通道和反射棱镜B，反射棱镜A、光学成像通道和反射棱镜B三者在同一条直线上，反射棱镜A和反射棱镜B两者呈镜像对应。

所述的上吸盘上设有开口槽。

所述的上吸盘和下吸盘均覆有黑色氧化膜。

有益效果

本发明的一种具有背面对准功能的无掩膜直写光刻机吸盘结构，与现有技术相比能够适用于背面对准的图像采集，且吸盘体可直接置于工作平台上工作。通过图像采集装置内置于吸盘体中的设计，成像系统设计波段包含了无掩膜直写光刻设备自身照明系统辐射源波段，这样无需外加光源、无需外加图像接收系统，直接利用直写光刻机本身光源、图像接收系统接收背面对准所采集的图像，降低了背面对准的操作复杂性和成本。并可根据不同需求合理更改吸盘体及光机件尺寸，用于实现背面对准图像的清晰准确采集，具有结构简单、设计合理、布局巧妙的特点。

附图说明

图1为本发明的结构立体图；

图2为本发明的结构正视图；

图3为本发明中上吸盘背面的结构示意图；

图4为本发明中下吸盘的结构示意图；

图5为本发明中左图像采集组件的结构示意图；

图6为本发明的工作原理示意图；

其中，1-上吸盘、2-下吸盘、4-参考标记、5-吸盘体、6-气道、7-抽气孔、8-联通孔、9-定位孔、10-吸气孔、11-开口槽、14-反射棱镜B、15-通光孔E、16-光学成像通道、17-通光孔F、18-反射棱镜A、19-硅板定位反射镜、20-参考标记的反射成像、21-投影系统、22-基板、24-左安装槽、25-右安装槽、26-左图像采集组件、27-右图像采集组件、28-基座、31-通光孔A、32-通光孔B、33-通光孔C、34-通光孔D。

具体实施方式

为使对本发明的结构特征及所达成的功效有更进一步的了解与认识，用以较佳的实施例及附图配合详细的说明，说明如下：