[发明专利]封装芯片背面失效定点的方法在审
| 申请号: | 201510607049.8 | 申请日: | 2015-09-22 |
| 公开(公告)号: | CN105301475A | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
| 发明(设计)人: | 马香柏 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
| 代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
| 地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 封装 芯片 背面 失效 定点 方法 | ||
1.一种封装芯片背面失效定点的方法,其特征在于,包含:
第1步,针对失效的封装芯片进行背面研磨,直至暴露出芯片背面,以及暴露出包裹在封装体内的引线;
第2步,对样品表面进行清理及固定;
第3步,采用打线机,在芯片引线和封装基座之间实现引线互联;若打线机识别不了芯片引线,则在芯片引线正上方生长铂金属条之后,再在铂金属条与封装基座之间显现引线互联;
第4步,对封装基座引线施加电学信号,激发漏电路径,采用失效定点设备进行失效定点。
2.如权利要求1所述的一种封装芯片背面失效定点的方法,其特征在于:所述的第1步中,如果芯片衬底掺杂越高,为光子透过率考虑,则研磨程度也相应提高,研磨至衬底厚度为50~300μm。
3.如权利要求1所述的一种封装芯片背面失效定点的方法,其特征在于:所述第2步中,将样品背面朝上,放在新的封装基座上并固定好;所述封装底座开槽优选地在5mm×5mm以上。
4.如权利要求1所述的一种封装芯片背面失效定点的方法,其特征在于:所述第3步中,铂金属条生长采用1000pA束流生长出长度为10~100μm、宽度为10~100μm、厚度为0.8~1μm;上述长度、宽度和厚度的取值能根据实际情况进行调整,面积越大、厚度越厚,越有利于打线;采用打线机,对铂金焊盘和封装基座实现引线互联。
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