[发明专利]一种混合集成电路管壳针与基板连接装置及其制作方法有效
申请号: | 201510605087.X | 申请日: | 2015-09-21 |
公开(公告)号: | CN105261571B | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 许艳军;窦娜娜 | 申请(专利权)人: | 北京新雷能科技股份有限公司;深圳市雷能混合集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H05K3/34 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 100096 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 混合 集成电路 管壳 连接 装置 及其 制作方法 | ||
1.一种混合集成电路管壳针与基板连接装置,包括管壳针(12)和基板(15),其特征在于,还包括位于所述管壳针(12)与所述基板(15)的基板正面焊盘(18)之间的管壳针套环(30),所述管壳针套环(30)包括半圆环部分(31)和位于所述半圆环部分(31)两端用于与所述管壳针(12)卡接的卡接部;
所述半圆环部分(31)位于所述基板(15)上方,所述半圆环部分(31)的径向内侧靠近所述管壳针(12);
所述半圆环部分(31)的宽度大于所述基板正面焊盘(18)靠近所述管壳针(12)一侧的边缘与所述管壳针(12)最近外周部的平均距离。
2.根据权利要求1所述的混合集成电路管壳针与基板连接装置,其特征在于,所述卡接部具体为凸出圆弧部分(32),所述凸出圆弧部分(32)位于所述半圆环部分(31)的两端,并且所述凸出圆弧部分(32)的圆弧角度为20°~25°、圆弧宽度为0.25mm~0.3mm。
3.根据权利要求2所述的混合集成电路管壳针与基板连接装置,其特征在于,所述管壳针套环(30)的厚度为0.1mm~0.2mm。
4.根据权利要求1至3任意一项所述的混合集成电路管壳针与基板连接装置,其特征在于,所述半圆环部分(31)与所述管壳针(12)可转动连接,所述半圆环部分(31)的内径比所述管壳针(12)的直径大0.01mm~0.02mm。
5.根据权利要求4所述的混合集成电路管壳针与基板连接装置,其特征在于,所述半圆环部分(31)的宽度比所述基板正面焊盘(18)靠近所述管壳针(12)一侧的边缘与所述管壳针(12)最近外周部的平均距离大0.2mm~0.3mm。
6.一种混合集成电路管壳针与基板连接装置的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤a:制作管壳针套环(30);
步骤b:提供待进行管壳针(12)与基板(15)焊接的混合集成电路;
步骤c:将管壳针套环(30)固定在待焊接的管壳针(12)上,固定后,管壳针套环(30)位于待焊接的管壳针(12)和基板正面焊盘(18)之间;
步骤d:进行管壳针(12)和基板(15)的手工焊接,用于连接管壳针(12)、管壳针套环(30)和基板正面焊盘(18)。
7.根据权利要求6所述的制作方法,其特征在于,所述步骤a包括以下步骤:
步骤a1:对管壳针套环铜网板进行版图设计;
步骤a2:采用化学或电化学腐蚀的蚀刻工艺制作出带有所述管壳针套环(30)图形的管壳针套环铜网板;
步骤a3:在所述管壳针套环铜网板表面电镀可焊接层;
步骤a4:用镊子夹持工具夹住所述管壳针套环(30)并折叠,分离所述管壳针套环(30)和连接筋(53),得到所述管壳针套环(30)成品。
8.根据权利要求7所述的制作方法,其特征在于,所述步骤a2中进行蚀刻工艺之前,还包括:
步骤a2’:对所述管壳针套环铜网板的正、反面设置掩膜层,其中所述管壳针套环铜网板的正面位于所述连接筋(53)上的半蚀刻区(54)无需设置所述掩膜层。
9.根据权利要求7或8所述的制作方法,其特征在于,所述步骤a3具体为:在所述管壳针套环铜网板的表面先设置厚度为1.3μm~8.9μm的镍层,然后在所述镍层的表面设置厚度为1.3μm~5.7μm的金层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造