[发明专利]荧光X射线分析装置以及其样品显示方法

说明书

本发明涉及荧光X射线分析装置以及其样品显示方法。具备：样品台（2），能够设置样品S；样品移动机构，能够移动样品台（2）；X射线源，对样品照射一次X射线；检测器，检测从样品产生的荧光X射线；摄像部，对样品台上的样品进行摄像；显示器部（7），在画面中显示所摄像的图像；定点设备，能够在画面中指定特定的位置来输入；图像处理部，在输入的画面中的位置显示标记M；以及控制部，控制样品移动机构和图像处理部，控制部在利用样品移动机构使样品台移动时利用图像处理部使画面中的标记沿与样品台相同的移动方向移动相同的移动距离并显示。

技术领域

本发明涉及能够进行有害物质的检测等并且在制品的筛选等或者电镀等的膜厚测定中使用的荧光X射线分析装置以及其样品显示方法。

背景技术

在荧光X射线分析中，将从X射线源射出的X射线照射到样品，用X射线检测器检测作为从样品放出的特性X射线的荧光X射线，由此，从其能量取得谱，进行样品的定性分析或定量分析或者膜厚测定。该荧光X射线分析由于能够非破坏地迅速地分析样品，所以在工序、品质管理等中被广泛地使用。在近年来，谋求高精度化、高灵敏度化而能够进行微量测定，特别地，作为进行材料、复合电子部件等所包含的有害物质的检测的分析手法而期待普及。

历来，在这样的荧光X射线分析的装置中，通过来自观察用摄像机等摄像装置的图像来确认设置于样品台的样品，使用XY台等移动机构来移动样品台以进行样品的位置对准，之后，进行测定或分析（例如，专利文献1）。特别地，在将许多的做成相同的形状的样品设置于样品台来进行测定的情况下，操作者一边移动XY台一边在画面上数样品的个数等，以使规定的样品来到测定位置的方式移动XY台来进行位置对准。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009–25241号公报。

发明要解决的课题

在上述现有的技术中，残留有以下的课题。

在上述以往的荧光X射线分析装置中，操作者需要将样品与样品台的规定位置对准而对样品观察用的摄像机图像进行观察来进行样品的详细的定位，但是，存在如图3的（a）所示那样每隔固定个数地对同一形状的样品S排列有许多的情况进行测定的情况等、如图3的（b）所示那样在移动样品台时无法知道在摄像机图像中观察到的样品S为第几个样品S的情况。即，存在如下这样的问题：操作者通过目视在摄像机图像中数样品S的个数，找到作为期望的测定对象的样品S来进行位置对准，因此，在作业变得繁杂之上难以对测定正确之处进行确认。

发明内容

本发明是鉴于上述的课题而完成的，其目的在于提供一种在每隔固定间隔地对做成相同的形状的许多样品、线图案（line pattern）等进行测定的情况下等能够提高操作性并且容易地确认测定处是正确的荧光X射线分析装置以及其样品显示方法。

用于解决课题的方案

本发明为了解决上述课题而采用了以下的结构。即，第一发明的荧光X射线分析装置的特征在于，具备：样品台，能够设置样品；样品移动机构，能够移动所述样品台；X射线源，对所述样品照射一次X射线；检测器，检测从被照射所述一次X射线的所述样品产生的荧光X射线；摄像部，对所述样品台上的所述样品进行摄像；显示器部，在画面中显示由所述摄像部所摄像的图像；定点设备，能够在所述画面中指定特定的位置来输入；图像处理部，在通过所述定点设备输入的所述画面中的位置显示标记；以及控制部，控制所述样品移动机构和所述图像处理部，所述控制部在利用所述样品移动机构使所述样品台移动时利用所述图像处理部使所述画面中的所述标记沿与所述样品台相同的移动方向移动相同的移动距离并显示。