[发明专利]一种实现干涉测量快速聚焦的方法

权利要求书

1.一种实现干涉测量快速聚焦的方法，其特征在于：

提供光学干涉显微镜；设置被测表面图像的横向坐标为x,y坐标，光学干涉显微镜靠近或者远离被测表面图像的坐标为z坐标；

干涉显微镜在Z方向上扫描获取图像；

找到灰度差和最大的那幅图像，该图像对应的位置就是聚焦位置，并通过下式聚焦评价函数计算灰度差和F(k)，

F(k)=ΣxMΣyN|g(k)(x,y)-g(k+1)(x,y)|]]>

其中，设第k幅图像中某点(x,y)处的灰度值为g_(k)(x,y)，图像为M×N个像素；评价值最大的图所在位置就是该图像扫描过程中寻找的聚焦位置。

2.如权利要求1所述的实现干涉测量快速聚焦的方法，其特征在于：包括寻找两次聚焦位置，具体步骤为：

(1)、初始化光学干涉显微镜的电机，使电机移动到系统默认位置O1；

(2)、设置拍摄步长S1，电机向下移动距离L1，并在电机移动过程中采集存储图像；

(3)、使用聚焦评价函数计算每一幅图像的评价值，评价值最大的图所在位置就是第一次聚焦位置O2；

(4)、电机移动到第一次聚焦位置O2，修改拍摄步长S2，使S2<S1，电机向下移动距离L2，使L2<L1，并在电机移动过程中采集存储图像；

(5)、使用聚焦评价函数计算移动距离L2中过程每一幅图像的评价值，判断第二次聚焦位置O3；

(6)、电机移动到O3，聚焦过程结束。