[发明专利]编码器标尺及其制造方法

说明书

一种编码器标尺(4)，设于电磁感应式线性编码器，并具备：基板(41)、形成于基板(41)的一面的具有导电性的导电层(42)、形成于导电层(42)上的导电体(43A)，导电层(42)形成为在俯视基板(41)时比导电体(43A)宽，并且被接地。另外，导电层(42)形成于基板(41)的一面的除导向面(41A)之外的所有部分，在导向面(41A)，玻璃面露出。

技术领域

本发明涉及编码器标尺及其制造方法，特别是涉及电磁感应式线性编码器所具备的编码器标尺。

背景技术

作为安装于制造装置或测量装置而检测直线移动的可动部的位置的装置，已知有线性编码器。线性编码器有检测方式互不相同的光学式线性编码器、静电容式线性编码器或电磁感应式线性编码器。其中，作为现有的电磁感应式线性编码器，例如已知有文献1(日本特开2009－276306号公报)及文献2(日本特开2011－247600号公报)所记载的编码器。

电磁感应式线性编码器具有：具有感应用电极图案的长条的编码器标尺、沿该编码器标尺可滑动的编码器头，通过标尺相对于头移动，在形成于标尺的感应用电极上感应电流，由编码器头的耦合线圈检测该电流，通过对通过的感应用电流进行计数等，检测标尺的移动量。

这样的电磁感应式线性编码器中，为使被构成感应用电极的导电层感应的电流工作，导电体优选使用电阻小的材料。因此，作为导电体的材料，广泛使用导电率高的金属，其中广泛使用铜。另外，作为设置导电体的基板，使用玻璃基板。

此时，由于铜不易附着于玻璃上，所以在铜制电极和玻璃基板之间配置用于改善接合性的接合层。作为亲和性对于铜和玻璃而言均良好的结合层，广泛使用铬。

为使编码器头相对于编码器标尺滑动，在编码器头上形成导向部。

导向部具有转动自如的滚子，并且，在玻璃基板的表面形成有未被接合面覆盖而露出玻璃的带状的导向面。通过滚子在导向面上滚动，编码器头相对于编码器标尺保持一定的间隔，同时，向编码器保持的长度方向顺畅地滑动。

在此，伴随滚子在导向面上滚动，有时玻璃基板带电。玻璃基板的带电成为放电或噪声的原因，因此，对于编码器头来说是不优选的。另外，如果玻璃基板带电，则尘埃容易附着于编码器标尺上，该尘埃成为检测不良的原因。为防止成为这些不良的原因的基板的带电，现有的编码器标尺在玻璃基板的表面上设有防带电电极。

图5A～图5D、图6A～图6D表示现有的编码器标尺的制造方法之一例。

在编码器标尺104的制造中，首先，在玻璃制的基板141上成膜接合层142，在接合层142上形成电极层143。其次，在电极层143上贴附抗蚀剂144，使用光刻法形成规定的掩模图案。

直至以上的工序结束的状态为图5A所示的状态。

其次，如图5B所示，以抗蚀剂144为掩模，通过蚀刻除去电极层143的一部分，由此形成导电体143A和铜掩模143B。

其次，如图5C所示，以导电体143A为掩模，通过蚀刻除去接合层142的一部分。由此，形成导电体143用的接合体142A和防带电电极142B。由于以导电体143为掩模，所以接合体142A在俯视基板141时，形成为与导电体143A相同的形状。但是，在该状态下，由于附着有抗蚀剂144，所以如图5D所示，除去抗蚀剂144。

其次，如图6A所示，将导电体143A及其接合体142A用新的抗蚀剂147遮盖后，通过蚀刻除去铜掩模143B。由此，如图6B所示，防带电电极142B露出。

然后，如图6C所示，除去抗蚀剂147后，如图6D所示，将导电体143A和其接合体142A用由具有绝缘性的树脂等构成的保护膜145覆盖，并且，在露出的防带电电极142B上连接接地线146，完成编码器标尺104。