[发明专利]一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器有效
| 申请号： | 201510388715.3 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN105129719B | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 杨晋玲;吕兴东;魏伟伟;张金英;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 洛伦兹力 双向 串联 mems 执行 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器，可以在磁场中利用电流产生的洛伦兹力实现双向结构同时运动，其特征在于：所述MEMS执行器由两个可动的弹性结构串联而成，电流分别从结构的两个端口流进和流出，在两个串联结构上通过的电流方向相反。
2.如权利要求1所述的一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器，其特征在于：所述的两个串联结构的结构形状直梁结构或折叠梁结构；使用的材料是硅或者金属。
3.如权利要求1或2任一所述的一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器，其特征在于：所述的两个串联结构既可以制作在同一平面内，也可制作在不同平面内；制作在不同平面内可以使器件在相互合并时相互遮挡。
4.如权利要求1或2任一所述的一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器，其特征在于：所述磁场与结构平面相互垂直，磁场通过永久磁铁或通电线圈提供。
5.如权利要求1所述的一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器的应用，其特征在于，执行器工作于磁场中，通过加载电流，在两个串联结构上产生方向相反的洛伦兹力，执行结构运动；通过控制电流的方向，两个结构既可以实现相向运动，相互合并；也可以实现反向运动，相互分离。
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