[发明专利]薄膜压电体基板、薄膜压电体元件及其制造方法和应用有效
| 申请号： | 201510309380.1 | 申请日： | 2015-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN106206931B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 野口隆男;熊伟;饭塚大助;西山一志 | 申请（专利权）人： | 新科实业有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/187 | 分类号： | H01L41/187;H01L41/39;C04B35/491 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 中国香港新界沙田香*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 体基板 元件 及其 制造 方法 应用 | ||
【说明书】：
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