[发明专利]电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备

权利要求书

1.一种电感耦合等离子体喷枪，其特征在于，包括

放电室，所述放电室由第一空心管材围设而成，所述第一空心管材为氮化硅管或碳化硅管；

气体导入装置，所述气体导入装置与所述放电室连通；

冷却装置，所述冷却装置包括第二空心管材、冷却剂导入组件和冷却剂导出组件，所述第二空心管材围设在所述第一空心管材的外侧，且所述第二空心管材的内侧壁与所述第一空心管材的外侧壁之间存在第一间隙，所述冷却剂导入组件和所述冷却剂导出组件均与所述第一间隙连通；

电感线圈，所述电感线圈设置在所述第二空心管材的外侧。

2.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体喷枪，其特征在于，所述气体导入装置包括反应气体导入管，所述反应气体导入管中设置有进气通道和冷却剂流通通道，所述冷却剂流通通道围绕所述进气通道进行设置，所述进气通道与所述放电室连通。

3.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体喷枪，其特征在于，所述冷却剂流通通道包括相互连通的第一冷却通道和第二冷却通道；

所述第一冷却通道、所述第二冷却通道与所述进气通道同轴设置，所述第一冷却通道围设在所述进气通道的外侧，所述第二冷却通道围设在所述第一冷却通道的外侧；

所述第一冷却通道上设置有冷却剂入口，所述第二冷却通道上设置有冷却剂出口。

4.根据权利要求3所述的电感耦合等离子体喷枪，其特征在于，所述第一冷却通道的横截面积与所述进气通道的横截面积之比为2:1～4:1，所述第一冷却通道的横截面积与所述第二冷却通道的横截面积相等。

5.根据权利要求2所述的电感耦合等离子体喷枪，其特征在于，所述气体导入装置还包括等离子体气体导入组件，所述等离子体气体导入组件上设置有径向导气口和切向导气口，所述径向导气口和所述切向导气口均与所述放电室连通。

6.根据权利要求5所述的电感耦合等离子体喷枪，其特征在于，所述反应气体导入管的一端套装在所述第一空心管材中，所述反应气体导入管的外侧壁与所述第一空心管材的内侧壁之间存在第二间隙，所述径向导气口和所述切向导气口均通过所述第二间隙与所述放电室连通。

7.根据权利要求6所述的电感耦合等离子体喷枪，其特征在于，所述第二间隙的大小为1mm～5mm。

8.根据权利要求1～7任一项所述的电感耦合等离子体喷枪，其特征在于，所述冷却剂导入组件和所述冷却剂导出组件均固定在所述第二空心管材的外侧壁上，且所述冷却剂导入组件位于所述第二空心管材的底端，所述冷却剂导出组件位于所述第二空心管材的顶端。

9.根据权利要求2～7任一项所述的电感耦合等离子体喷枪，其特征在于，所述电感耦合等离子体喷枪还包括固定部件和调节环；

所述反应气体导入管通过所述固定部件进行固定；

所述反应气体导入管的顶端沿径向设置有凸出部，所述调节环设置在所述凸出部和所述固定部件之间，所述反应气体导入管通过所述调节环进行轴向位置的调节。

10.一种等离子体设备，其特征在于，包括权利要求1～9任一项所述的电感耦合等离子体喷枪。