[发明专利]离子发生装置及热电子放出部

权利要求书

1.一种离子发生装置，其特征在于，具备：

电弧室；

阴极，从所述电弧室的内部向外轴向延伸，且向所述电弧室内放出热电子；

筒状热反射器，设置于所述阴极的径向外侧，且沿所述轴向延伸；及

狭小结构，在夹在所述阴极与所述热反射器之间的间隙，所述径向宽度在所述轴向规定位置变小。

2.根据权利要求1所述的离子发生装置，其特征在于，

所述阴极与所述热反射器的电位相同。

3.根据权利要求1或2所述的离子发生装置，其特征在于，

所述狭小结构包含突起部，该突起部设置于所述阴极和所述热反射器中的至少一方且向所述径向突出，并且沿所述轴向延伸，

所述突起部在沿所述轴向延伸的区间，使所述间隙的所述径向宽度在所述规定位置减小。

4.根据权利要求3所述的离子发生装置，其特征在于，

所述突起部中，向所述径向突出的宽度大于沿所述轴向延伸的区间的所述间隙的所述径向宽度。

5.根据权利要求3所述的离子发生装置，其特征在于，

所述突起部中，沿所述轴向延伸的区间的长度为沿所述轴向延伸的区间的所述间隙的所述径向宽度的2倍以上。

6.根据权利要求3所述的离子发生装置，其特征在于，

所述突起部具有设置于所述阴极的内侧突起部及设置于所述热反射器的外侧突起部，

所述内侧突起部及所述外侧突起部设置于所述轴向重合位置。

7.根据权利要求3所述的离子发生装置，其特征在于，

所述突起部具有设置于所述阴极的内侧突起部及设置于所述热反射器的外侧突起部，

所述内侧突起部及所述外侧突起部设置于所述轴向上不相重合的位置，沿所述径向重合。

8.根据权利要求1或2所述的离子发生装置，其特征在于，

所述阴极包含：阴极帽，向所述电弧室内放出热电子；及筒状热断路器，从所述电弧室的内部向外轴向延伸，且固定所述阴极帽，

将所述狭小结构中所述热断路器与所述热反射器之间的所述径向宽度设置得小。

9.根据权利要求3所述的离子发生装置，其特征在于，

所述阴极包含：阴极帽，向所述电弧室内放出热电子；及筒状热断路器，从所述电弧室的内部向外轴向延伸，且固定所述阴极帽，

所述阴极帽上未设置有所述突起部。

10.根据权利要求8所述的离子发生装置，其特征在于，

所述热断路器具有：卡止端部，使所述阴极帽卡止；及安装端部，安装于设置在所述电弧室之外的部件上。

11.根据权利要求10所述的离子发生装置，其特征在于，

所述热反射器包含连接端部，在所述安装端部的附近朝所述热断路器向径向内侧延伸，且与所述热断路器连接，

所述间隙具有：底部区域，所述轴向位置较所述卡止端部与所述连接端部的中间成为更靠近所述连接端部的位置；及中间区域，所述轴向位置较所述底部区域成为更靠近所述卡止端部的位置，

所述狭小结构中，与所述中间区域相比，所述底部区域的所述径向宽度更大。

12.根据权利要求11所述的离子发生装置，其特征在于，

所述离子发生装置还具备灯丝，设置于所述热断路器的内部，对所述阴极帽进行加热，

所述阴极帽包括面向所述电弧室的内部空间的前面及卡止于所述卡止端部且面向所述灯丝的背面，

所述间隙具有上部区域，所述轴向位置成为较所述前面和所述背面的中间更靠近所述前面的位置，

所述中间区域为，所述轴向位置较所述上部区域成为更靠近所述卡止端部的位置的区域，

所述狭小结构中，与所述中间区域相比，所述上部区域的所述径向宽度更大。

13.根据权利要求11或12所述的离子发生装置，其特征在于，

与所述电弧室的内部空间相比，所述底部区域为等离子体密度更稀薄的空间。