[发明专利]一种紫外光化学水浴沉积法制备硫化锌薄膜的方法

权利要求书

1.一种紫外光化学水浴沉积法制备硫化锌薄膜的方法，其特征在于，将金属源ZnSO₄、络合剂、含S₂O₃^2-的硫源、H₂SO₄溶液混合，调节H₂SO₄溶液的加入量使混合液pH为3.5~5.5，将衬底浸渍于混合液中，并保持液面与衬底的上底面的距离为2~5mm，紫外光照射，衬底上形成硫化锌薄膜，所述络合剂为EDTA溶液，所述含S₂O₃^2-的硫源为Na₂S₂O₃溶液，所述金属源ZnSO₄浓度为3.2×10^-3~4.5×10^-3mol/L，络合剂EDTA的浓度为1.0×10^-4mol/L、硫源Na₂S₂O₃的浓度为0.17~0.22mol/L、H₂SO₄溶液质量分数5%，所述金属源ZnSO₄、络合剂EDTA、硫源Na₂S₂O₃的体积比为1:1:1；

所述紫外光的波长为254nm或185nm，功率为50~500mW/cm²。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衬底为普通玻璃、涂覆有CZTS吸收层的玻璃或涂覆有CZTSSe吸收层的玻璃。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，紫外光照射时间为20~40min。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，混合液在紫外光照射条件下常温常压反应。