[发明专利]研磨方法和保持器具

权利要求书

1.一种研磨方法，其具有这样的研磨工序：

在将保持在保持器具上的研磨对象物的研磨面按压接触于研磨垫的状态下，在向研磨垫上供给研磨用组合物的同时使所述保持器具和所述研磨垫相对旋转，从而对所述研磨对象物的研磨面进行研磨，该研磨方法的特征在于，

在所述研磨工序中，保持在所述保持器具上的所述研磨对象物维持着所述研磨对象物的研磨面与所述研磨垫相对的状态地旋转，改变所述研磨对象物的朝向。

2.根据权利要求1所述的研磨方法，其中，

所述研磨工序包含这样的过程：

在暂时停止对所述研磨对象物的研磨面进行研磨的操作而改变了所述研磨对象物的朝向之后，再次开始对所述研磨对象物的研磨面进行研磨的操作。

3.根据权利要求1或2所述的研磨方法，其中，

所述研磨对象物是保持在所述保持器具上的多个研磨对象物之一。

4.根据权利要求1或2所述的研磨方法，其中，

所述研磨对象物的研磨面呈曲面状，

在将所述研磨对象物按压于所述研磨垫而使所述研磨垫变形为追随曲面状的研磨面的形状的同时对所述研磨对象物的研磨面进行研磨。

5.根据权利要求4所述的研磨方法，其中，

在所述保持器具和所述研磨对象物之间配置间隔物，在使所述研磨对象物的研磨面朝向所述研磨垫突出的状态下进行所述研磨工序。

6.根据权利要求1或2所述的研磨方法，其中，

所述研磨对象物的研磨面由多个面构成，

在将所述研磨对象物按压于所述研磨垫而使所述研磨垫变形为追随由所述多个面构成的研磨面的形状的同时对所述研磨对象物的研磨面进行研磨。

7.根据权利要求6所述的研磨方法，其中，

在所述保持器具和所述研磨对象物之间配置间隔物，在使所述研磨对象物的研磨面朝向所述研磨垫突出的状态下进行所述研磨工序。

8.一种保持器具，其应用于这样的研磨方法：在将保持在保持器具上的研磨对象物的研磨面按压接触于研磨垫的状态下，在向研磨垫上供给研磨用组合物的同时使所述保持器具和所述研磨垫相对旋转，从而对所述研磨对象物的研磨面进行研磨，该保持器具的特征在于，

所述保持器具包括：

研磨头，其用于保持所述研磨对象物；以及

旋转机构，其维持着所述研磨对象物的研磨面与所述研磨垫相对的状态地使保持在所述研磨头上的所述研磨对象物旋转，改变所述研磨对象物的朝向。

9.根据权利要求8所述的保持器具，其中，

所述旋转机构包括用于固定所述研磨对象物的旋转台。

10.根据权利要求9所述的保持器具，其中，

所述保持器具还包括配置在所述旋转台和所述研磨对象物之间且使所述研磨对象物的研磨面朝向研磨垫突出的间隔物。

11.根据权利要求9或10所述的保持器具，其中，

所述旋转台以自所述研磨头朝向所述研磨垫突出的方式设置。

12.根据权利要求8～10中任一项所述的保持器具，其中，

所述研磨头构成为能够保持多个研磨对象物。