[发明专利]一种多晶硅生产中的还原炉进料方法有效
申请号: | 201510102981.5 | 申请日: | 2015-03-10 |
公开(公告)号: | CN106145117B | 公开(公告)日: | 2018-02-06 |
发明(设计)人: | 周正平;李金忠 | 申请(专利权)人: | 周正平;李金忠 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 750333 内蒙古自治区阿拉善盟阿*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 生产 中的 还原 进料 方法 | ||
1.一种多晶硅生产中的还原炉进料方法,其将往还原炉中进料分成如下三个阶段:
(一)初始进料阶段:
该阶段的进料时间为从第0小时到第20小时,其中,进料量为从0kg到800kg,且该阶段的整个进料过程中使得单位时间内进料量随着时间的增加成正比例地增加;
(二)平稳进料阶段:
该阶段的进料时间为从第20小时到第60小时,其中,进料量为从800kg到1200kg,且该阶段的整个进料过程中使得单位时间内进料量随着时间的增加保持不变;
(三)快速进料阶段:
该阶段的进料时间为从第60小时到第100小时,其中,进料量为从1200kg到2100kg,且该阶段的整个进料过程中使得单位时间内进料量随着时间的增加成正比例地减少;
其中,所进的料为三氯氢硅。
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