[发明专利]激光束照射装置、基板密封及制造有机发光显示器的方法有效
申请号: | 201510086590.9 | 申请日: | 2011-01-05 |
公开(公告)号: | CN104681748B | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 李廷敏;申章焕;姜泰旭;全震焕 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人: | 康泉,宋志强 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光束 照射 装置 密封 制造 有机 发光 显示器 方法 | ||
本申请是申请日为2011年1月5日、申请号为201110006551.5、名称为“激光束照射装置、基板密封及制造有机发光显示器的方法”的发明专利申请的分案申请。
优先权要求
本申请参考早先于2010年1月7日递交韩国知识产权局并被按时分配序列号No.10-2010-0001310的申请,将其合并于此,并要求其所有权益。
技术领域
本发明涉及激光束照射装置、对基板进行密封的方法以及制造有机发光显示器的方法。
背景技术
近来,显示器正被便携式薄平板显示器取代。在平板显示器之中,电致发光显示器是自发射显示器,其具有宽的视角、高的对比率以及快的响应速度,因此被认为是下一代显示器。而且,与无机发光显示器相比,包括由有机材料形成的发射层的有机发光显示器具有极好的发光度、驱动电压以及响应速度特性,并且可以实现多色彩。
有机发光显示器具有在两个电极之间插入包括发射层的至少一个有机层的结构。
当来自外部的水或氧气透过有机发光显示器时,电极材料可能被氧化,或者可能发生脱落,这可能降低有机发光器件的寿命和发光效率,从而可能使发光色彩劣化。
相应地,当制造有机发光显示器时,通常对有机发光器件进行密封以便将有机发光器件与外部隔离,从而使得水不会渗透到有机发光器件中。密封工艺的实例包括将无机薄膜和诸如聚酯(PET)之类的有机聚合物层压在有机发光显示器的第二电极上的方法,以及在封装基板中形成吸收剂并且将氮气填充到封装基板中、而后使用诸如环氧树脂之类的密封剂对封装基板的边界进行密封的方法。
然而,不可能完全阻止诸如水或氧气之类的元素从外部渗透,这会毁坏利用上述方法进行密封的有机发光器件,因而该方法不能应用于特别易受水影响的有机发光显示器,并且用于实现该方法的工艺也是复杂的。为了解决这些问题,已设计了将玻璃料用作密封剂以改善有机发光器件的基板与封装基板之间的粘合特性的方法。
通过将玻璃料涂覆在玻璃基板上而对有机发光显示器进行密封,可以将有机发光器件的基板和封装基板完全密封,从而有效地保护有机发光显示器。
通过将玻璃料涂覆在每个有机发光显示器的密封单元上、并且通过移动激光束照射装置将激光束照射到每个有机发光显示器的密封单元上,利用玻璃料对基板进行密封,从而使玻璃料变硬并且对基板进行密封。
发明内容
本发明提供一种包括用于改善玻璃料截面的温度均匀性的束分布曲线的激光束照射装置、对基板进行密封的方法以及制造有机发光显示器的方法。
根据本发明的一方面,一种激光束照射装置,将激光束照射到布置在第一基板与第二基板之间的密封单元上以密封所述第一基板和所述第二基板,其中所述激光束在与所述激光束的行进方向垂直的表面上具有从所述激光束的中央部分向末端部分增大的束强度,并且所述激光束的中央部分处的束强度是所述激光束的末端部分处的束强度的一半或更小,并且所述激光束具有相对于所述激光束的行进方向对称的束分布曲线。
所述激光束可以顺次包括束强度从所述激光束的中央部分向末端部分慢慢增大的第一段,和束强度增大率比所述第一段高的第二段。
所述激光束可以相对于与所述激光束的行进方向平行的表面对称。
位于所述第一段与所述第二段之间的边界上的拐点可以相对于所述激光束的中央部分对称分布。
所述激光束可以进一步包括束强度快速降低的第三段,并且所述第三段被布置在所述第二段的外部。
所述激光束可以进一步包括束强度均匀的第三段,并且所述第三段被布置在所述第二段的外部。
所述激光束可以以点波束的形式照射。
所述激光束可以在与所述激光束的行进方向平行的表面上具有均匀的束强度。
位于所述第一段与所述第二段之间的边界处的拐点可以在与所述激光束的行进方向垂直的表面上对称。
在与所述激光束的行进方向平行的表面上可以不存在位于所述第一段与所述第二段之间的边界处的拐点。
所述激光束的截面可以是矩形。
所述激光束在所述激光束的行进方向平行的表面上可以具有与垂直于所述激光束的行进方向的表面上的束分布曲线的束强度增大率不同的束强度增大率,并且可以具有相对于所述激光束的中心完全对称的束分布曲线。
与所述激光束的行进方向平行的表面上的束分布曲线可以具有从所述激光束的中央部分到末端部分降低的束强度。
与所述激光束的行进方向平行的表面上的束分布曲线可以具有从所述激光束的中央部分到末端部分增大的束强度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择