[发明专利]激光束照射装置、基板密封及制造有机发光显示器的方法

权利要求书

1.一种激光束照射装置，所述激光束照射装置将激光束照射到布置在第一基板与第二基板之间的密封单元上以密封所述第一基板和所述第二基板，其中所述激光束在与所述激光束的行进方向垂直的表面上具有从所述激光束的中央部分到末端部分增大的束强度，并且所述激光束的中央部分处的束强度不大于所述激光束的末端部分处的束强度的一半，并且所述激光束具有相对于所述激光束的行进方向对称的束分布曲线，

其中所述激光束顺次包括束强度从所述激光束的中央部分到末端部分慢慢增大的第一段，和束强度增大率比所述第一段高的第二段，

其中所述激光束进一步包括束强度快速降低的第三段，所述第三段被布置在所述第二段的外部，并且所述第三段的束强度降低率大于所述第二段的束强度增大率，

其中所述激光束在与所述激光束的行进方向平行的表面上对称。

2.根据权利要求1所述的激光束照射装置，其中位于所述第一段与所述第二段之间的边界上的拐点相对于所述激光束的中央部分对称分布。

3.根据权利要求1所述的激光束照射装置，其中所述激光束以点波束的形式照射。

4.一种对基板进行密封的方法，所述方法通过将激光束照射到布置在第一基板与第二基板之间的密封单元上对基板进行密封，所述方法包括以下步骤：

在所述第一基板与所述第二基板之间形成密封单元；

将激光束照射到所述密封单元上，其中所述激光束的束强度在与所述激光束的行进方向垂直的表面上从所述激光束的中央部分到所述激光束的末端部分增大，并且所述激光束的中央部分的束强度不大于所述激光束的末端部分处的束强度的一半，并且所述激光束具有相对于所述激光束的行进方向对称的束分布曲线；以及

沿着所述密封单元的密封线照射所述激光束，

其中所述激光束顺次包括束强度从所述激光束的中央部分到末端部分慢慢增大的第一段，和束强度增大率比所述第一段高的第二段，

其中所述激光束进一步包括束强度快速降低的第三段，所述第三段被布置在所述第二段的外部，并且所述第三段的束强度降低率大于所述第二段的束强度增大率，

其中所述激光束在与所述激光束的行进方向平行的表面上对称。

5.根据权利要求4所述的对基板进行密封的方法，其中所述激光束的中央部分聚焦于所述密封线的中心线上，并且所述激光束沿着所述密封线的中心线进行扫描以便照射所述激光束。

6.根据权利要求4所述的对基板进行密封的方法，其中所述激光束的束宽度大于所述密封单元的宽度。

7.根据权利要求6所述的对基板进行密封的方法，其中所述激光束的束宽度是所述密封单元的宽度的4/3至2倍。

8.根据权利要求4所述的对基板进行密封的方法，其中所述激光束的束宽度与所述密封单元的宽度相同。

9.根据权利要求4所述的对基板进行密封的方法，其中作为沿着所述密封线的中心线进行扫描并照射的所述激光束的束强度相对于时间的积分值的热通量，在所述密封单元的末端部分处大于所述密封单元的中央部分处。

10.根据权利要求4所述的对基板进行密封的方法，其中所述密封单元包括玻璃料。

11.根据权利要求4所述的对基板进行密封的方法，其中位于所述第一段与所述第二段之间的边界处的拐点相对于所述激光束的中央部分对称分布。

12.根据权利要求4所述的对基板进行密封的方法，其中所述激光束以点波束的形式沿着所述密封线照射到所述密封单元上。