[发明专利]真空炉以及连续式真空炉

说明书

技术领域：

本发明涉及真空设备领域，尤其涉及一种真空炉以及连续式真空炉。

背景技术：

真空炉作为一种工业设备，在材料的热处理、加工、制备、烧结、焊接和镀膜等方面具有广泛的用途；但现有的真空炉在径向上只有一个真空腔，由于真空腔的内外压差很大，所以密封难度很高，不但制造成本高、工艺复杂，而且维护成本也很高；特别是高真空炉，其真空腔的气压低至10^-4Pa，而外部的大气压却高达10⁵Pa，两者相差10⁹倍，巨大的压差对真空腔的焊接成型、真空管道的连接、炉门的密封等提出了很高的要求，只要出现些微的渗漏，就难以达到所要求的真空度。

现有的连续式真空炉，由放片台、真空预抽室、真空焊接室、真空退火室、冷却室、取片台和中心控制系统等组合而成。现有的连续式真空炉有多个真空室组成，每个真空室在径向上只有一个真空腔，对于真空焊接室来说，其真空腔的气压只有0.1-0.001Pa，而外部的大气压高达10⁵Pa，两者相差10⁶-10⁸倍，巨大的压差对真空腔的焊接成型、真空管道的连接、炉门的密封提出了很高的要求，只要出现些微的渗漏，就难以达到所要求的真空度，所以制作难度很大、制作成本很高，一条连续式真空炉的造价高达数千万元。

发明内容：

针对上述技术问题，本发明的目的在于提供一种具有独立的双腔或多腔结构的真空炉，以及具有独立的双腔或多腔结构的连续式真空炉。本发明的真空炉可以实现使得各真空腔的气压逐渐变化，解决了单一真空腔因内外压差巨大而带来的密封困难，解决了真空炉制作难度大、制作成本高等问题。

为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

根据本发明的一个实施例，提供了一种真空炉，包括：炉体，用于对真空腔进行真空处理的真空系统；所述炉体包括设置在最外层的外腔，以及依次设置在外腔内部的一个以上的内腔。

优选的，所述外腔和内腔相互独立；外腔及每个内腔的气压不同，从内到外气压依次升高；所述真空系统包括多个真空机组，所述外腔和内腔分别通过真空管与各自的真空机组连通，达到设定的真空度或气压。

优选的，所述外腔内的气压为1000Pa-0.1Pa，所述内腔内的气压为0.1Pa-0.0001Pa。

优选的，所述内腔内设置有加热体。设置加热体可以对腔内进行加热和保温。

优选的，所述加热体为红外加热体。红外加热体安装方便，应用广泛。

优选的，所述内腔内还设置有一至数层隔热屏。隔热屏可以对内腔进行保温隔热。

优选的，所述隔热屏为表面光洁的金属板，或者表面镀有低辐射膜，可以进一步提高隔热保温性能。

优选的，所述外腔和内腔的内表面为低辐射率表面或者表面镀有低辐射膜，可以进一步提高隔热保温性能。

根据本发明的另一个实施例，提供了一种连续式真空炉，包括：上料台、真空预抽室、真空加热室、预冷室、冷却室和下料台，用于对真空腔进行真空处理的真空系统、和用于传送物料的传动系统；所述真空加热室的真空腔包括设置在最外层的外腔及依次设置在外腔内部的一个以上的内腔。

优选的，所述外腔和内腔相互独立，外腔及每个内腔的气压不同，从内到外气压依次升高；真空系统包括多个真空机组，每个真空机组通过真空管与相应的真空腔连通；外腔和内腔分别通过各自的真空机组达到设定的真空度或气压。

优选的，所述连续式真空炉还包括真空加压室，所述真空加压室的真空腔包括设置在最外层的外腔及依次设置在外腔内部的一个以上的内腔，外腔和内腔相互独立，外腔及每个内腔的气压不同，从内到外气压依次升高，使各真空腔的气压逐渐变化，解决了单一真空腔因内外压差巨大而带来的密封困难。

优选的，所述连续式真空炉的真空腔体内侧设置有加热体。设置加热体可以对腔内进行加热和保温。

优选的，所述加热体为红外加热体。红外加热体安装方便，应用广泛。

优选的，所述真空预抽室和预冷室可以是一至数个，可以实现气压和温度的逐渐变化。

优选的，所述外腔和内腔的内表面为低辐射率表面或者表面镀有低辐射膜，可以进一步提高隔热保温性能。

优选的，所述外腔内的气压优选为1000Pa-0.1Pa，所述内腔内的气压优选为0.1Pa-0.0001Pa。

优选的，所述内腔还设置有一至数层隔热屏，隔热屏可以对内腔进行保温隔热。