[发明专利]一种MOCVD设备的喷淋头

权利要求书

1.一种MOCVD设备的喷淋头，包括将Zn源直接送进反应腔的Zn源管道，观察器以及辅助气体入口，其特征在于，所述喷淋头内腔顶部设有将所述辅助气体入口送入的气体进行折流过滤的折流机构，折流机构下设有若干漏斗形的送气管，各条送气管之间还包括冷却水管道；所述折流机构为设于喷淋头内腔顶部向内水平延伸的折流环，折流环表面设有若干连续的凸环。

2.根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述折流环为可拆卸式。

3.根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述喷淋头内腔顶壁也设有若干向内连续的凸环。

4.根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述送气管的两端为喇叭形开口。

5.根据权利要求4所述的喷淋头，其特征在于，所述送气管设有单向阀门。

6.根据权利要求5所述的喷淋头，其特征在于，所述送气管形成为若干层连续的输气管道，并分布于喷淋头内腔侧壁。

7.根据权利要求6所述的喷淋头，其特征在于，所述送气管由金属材料制成。

8.根据权利要求1所述的喷淋头，其特征在于，所述冷却水管道设于各条所述送气管之间形成的间隙内，并形成冷却水流循环的管道系统。

9.一种MOCVD设备，其特征在于，包括权利要求1至8任一项所述的喷淋头。