[发明专利]吸收件表面改进

权利要求书

1.一种用于形成光伏电池的方法，包括以下步骤：

在背电极上形成吸收件；

在所述吸收件的表面上沉积包括碱金属的材料；以及

对所述吸收件进行退火以降低所述吸收件在表面处的铜含量，其中，所述表面的300nm范围内包括至少5％的铜损耗，所述退火包括每分钟温度升高7℃-20℃的升温速率。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，通过湿工艺沉积所述碱金属。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述湿工艺包括喷淋工艺。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述湿工艺包括浸涂工艺。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述包括碱金属的材料包括钾基溶液或钠基溶液中的一种。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，碱金属溶液包括预定浓度的NaF、NaCl、NaBr、KF、KCl或KBr中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的方法，还包括在沉积含有所述碱金属的碱金属溶液之后干燥所述吸收件的步骤。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，干燥所述吸收件包括将所述吸收件加热至从50℃至100℃的温度的步骤。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，对所述吸收件进行退火包括将所述吸收件暴露于退火气体的步骤。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述退火气体包括硫蒸汽、硒蒸汽、H₂S气体、或H₂Se气体中的一种。

11.一种用于形成光伏电池的系统，包括：

喷淋器，配置为将碱金属溶液沉积至吸收件的表面上；

退火室，配置为对所述吸收件和所述碱金属溶液进行退火，其中，所述退火室配置为使得所述表面的300nm范围内包括至少5％的铜损耗，所述退火包括每分钟温度升高7℃-20℃的升温速率；以及

控制器，配置为控制所述喷淋器和所述退火室，其中，所述控制器配置为在沉积所述碱金属溶液之后使所述退火室活化预定周期。

12.根据权利要求11所述的系统，还包括加热器，配置为在沉积所述碱金属溶液之后干燥所述吸收件。

13.根据权利要求12所述的系统，其中，所述加热器配置为将所述吸收件加热至介于50℃和100℃之间的温度。

14.根据权利要求11所述的系统，其中，所述碱金属溶液包括钾基溶液或钠基溶液中的一种。

15.根据权利要求14所述的系统，其中，所述碱金属溶液包括NaF、NaCl、NaBr、KF、KCl或KBr中的至少一种。

16.一种用于形成光伏电池的系统，包括：

浸涂槽，所述浸涂槽中具有碱金属溶液，所述浸涂槽配置为在所述浸涂槽中容纳吸收件，其中，通过所述浸涂槽将碱金属层沉积在所述吸收件上；

退火室，配置为对所述吸收件和所述碱金属层进行退火，其中，所述退火室配置为使得与所述碱金属层邻接的所述吸收件的表面的300nm范围内包括至少5％的铜损耗，所述退火包括每分钟温度升高7℃-20℃的升温速率；以及

控制器，配置为控制所述退火室，其中，所述控制器配置为在沉积所述碱金属溶液之后使所述退火室活化预定周期。

17.根据权利要求16所述的系统，还包括加热器，配置为在从所述浸涂槽中取出所述吸收件之后，干燥所述吸收件。

18.根据权利要求17所述的系统，其中，所述加热器配置为将所述吸收件加热至介于50℃和100℃之间的温度。

19.根据权利要求16所述的系统，其中，所述碱金属溶液包括钾基溶液或钠基溶液中的一种。

20.根据权利要求19所述的系统，其中，所述碱金属溶液包括NaF、NaCl、NaBr、KF、KCl或KBr中的至少一种。