[发明专利]一种感应装置及研磨清洗设备

权利要求书

1.一种感应装置，包括第一感应器和第二感应器；其特征在于，还包括设置于所述第一感应器和所述第二感应器之间的干燥装置；

所述干燥装置的第一安装面上设置有第一安装口，用于安装第一风淋喷管；所述第一安装口的位置与所述第一感应器感应头的位置相对应。

2.根据权利要求1所述的感应装置，其特征在于，所述干燥装置的第二安装面上设置有第二安装口，用于安装第二风淋喷管；所述第二安装口的位置与所述第二感应器的感应头位置相对应。

3.根据权利要求1所述的感应装置，其特征在于，所述干燥装置的第三安装面上设置有第三安装口，用于安装第三风淋喷管；所述第三风淋喷管的位置与所述感应装置的待感应表面相对应。

4.根据权利要求3所述的感应装置，其特征在于，所述第一安装面与所述第二安装面分别位于所述第三安装面两侧；

所述第一安装面与所述第一感应器的中轴线相平行；

所述第二安装面与所述第二感应器的中轴线相平行；

所述第三安装面与所述感应装置的待感应表面相平行。

5.根据权利要求2所述的感应装置，其特征在于，所述第一风淋喷管的出风侧表面与所述第一感应器之间的距离为3mm～5mm；

和/或，

所述第二风淋喷管的出风侧表面与所述第二感应器之间的距离为3mm～5mm。

6.根据权利要求4所述的感应装置，其特征在于，所述第三风淋喷管的出风侧表面与所述感应装置的待感应表面的距离为10mm～15mm。

7.根据权利要求4所述的感应装置，其特征在于，所述干燥装置内部设置有分别与所述第一安装口、所述第二安装口以及所述第三安装口相连接的供风管道；

所述供风管道的内径大于所述第一风淋喷管、所述第二风淋喷管或所述第三风淋喷管的内径。

8.根据权利要求1所述的感应装置，其特征在于，所述第一感应器为发射部件，用于向所述感应装置的待感应表面发射感应光线；

所述第二感应器为接收部件，用于接收所述感应光线在所述感应装置的待感应表面反射后的光线。

9.根据权利要求4所述的感应装置，其特征在于，所述第一风淋喷管、第二风淋喷管或第三风淋喷管的喷射压力为0.1MPa～0.3MPa。

10.一种研磨清洗设备，其特征在于，包括至少一个如权利要求1-9任一项所述的感应装置。

11.根据权利要求10所述的研磨清洗设备，其特征在于，干燥装置与所述研磨清洗设备的安装背板相对的一侧表面上设置有凹槽；

所述安装背板的表面固定有导轨，所述凹槽与所述导轨相对合，所述导轨沿所述凹槽进行移动；

所述导轨上设置有至少一个定位孔，在所述干燥装置移动至预设位置的情况下，所述导轨通过所述定位孔与所述干燥装置固定连接。