[发明专利]油扩散泵和用于该油扩散泵的油蒸气产生器

说明书

技术领域

本发明涉及作为真空泵的油扩散泵和组装于该泵中的油蒸气产生器，所述油扩散泵与构成蒸镀装置或溅镀装置等各种真空装置的真空容器连接，适用于对该容器内抽真空的用途。

背景技术

在蒸镀装置或溅镀装置等各种真空装置中，作为在对构成该装置的真空容器的内部抽真空的排气装置中使用的真空泵，利用了油扩散泵。在以往的油扩散泵中，已知这样的油扩散泵：利用具有加热线的电热加热器，来作为收纳在锅炉内的工作油的加热源(专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-23778号公报

发明内容

发明要解决的课题

在利用加热线作为工作油的加热源的情况下，虽然存在可廉价地形成装置的优点，但是也包含有可引起如下不良情况的因素：例如，由于加热线的断线而导致加热功能消失；由于加热线的绝缘不良而发生漏电；由于端子座的高温而发生接触不良；以及被加热体生锈等。另外，在油扩散泵工作时，加热线会产生接近赤热水平的高温，因此需要注意其安装场所，根据考虑了来自加热线的辐射热的设置场所，还存在自由度在安装位置处受限这样的设置环境的问题。

而且，作为工作油加热源的加热线在能量效率方面也会发生热传导损失，因此，除了加热效率低下而妨碍节能之外，还存在以下问题。

(1)加热的上升速度较慢(起动时间长)，

(2)热响应性差，

(3)难以选择性地对被加热体进行加热从而对被加热体的周边也进行了加热等。

根据本发明的一个方面，提供一种可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器、和具备该油蒸气产生器且能够有助于实现工作时的节能的油扩散泵。

用于解决问题的手段

本发明的油扩散泵是一种真空泵，其中，在配置于壳体内的喷射器内配置有油蒸气产生器，通过使该油蒸气产生器工作来加热工作油从而产生油蒸气，将喷射器内的油蒸气从喷射器喷射出去而对吸入气体进行高真空排气动作。

油蒸气产生器具备：被加热体；感应线圈，其电绝缘地配置在被加热体的附近；以及供电单元，其对感应线圈施加交流电。并且，特征在于，构成为，通过使供电单元工作而对感应线圈施加交流电，由此使被加热体自身加热，从而使工作油气化。

本发明的油蒸气产生器被用于对具有壳体和喷射器的油扩散泵内的工作油进行加热而产生油蒸气的用途。本发明的油蒸气产生器具备：被加热体，其以一部分或全部浸渍于储存在油扩散泵的壳体内的工作油中的方式配置在壳体内的喷射器内；感应线圈，其以一部分或全部浸渍于储存在壳体内的工作油中的方式电绝缘地配置在被加热体的附近；以及供电单元，其对该感应线圈施加交流电。并且，特征在于，通过使供电单元工作来使被加热体加热，从而使工作油气化。

在上述的两个发明中，构成油蒸气产生器的被加热体的形状并不特别限定，可以考虑例如板状、筒状或板状与筒状的组合等。例如在以沿立起设置方向延伸的筒状构成被加热体的情况下(图3～图5)，只要将感应线圈隔着绝缘材料缠绕在被加热体的周围即可(图3～图5)。在以圆板状等的板材构成被加热体的情况下，只要将感应线圈隔着绝缘材料配置在被加热体的周围(例如背面等)即可，在进行组合的情况下，除了分别使用单独的感应线圈且使用多个供电单元以外，也可以使用1个系统的感应线圈和供电单元来供电。无论哪种情况，在本发明中，被加热体和感应线圈都是以一部分或全部浸渍于储存在壳体内的工作油中的配置被组装于壳体。

在本发明中，能够在油扩散泵的壳体内设置可使油蒸气产生器工作来进行加热的工作油的流路。

在本发明中，能够构成为使配置于壳体内的油蒸气产生器与壳体底面之间热绝缘。

在本发明中，能够以进行了绝缘包覆的耐热电线构成油蒸气产生器的感应线圈。

发明效果

组装在本发明的油扩散泵中的油蒸气产生器构成为：使用将感应线圈隔着绝缘材料配置在被加热体的附近而成的加热源(作为一例，将感应线圈隔着绝缘材料绕筒状的被加热体缠绕而成的加热源)作为工作油加热源，通过对感应线圈施加交流电来使被加热体加热，通过该热使工作油气化。另外，构成为，被加热体和感应线圈以浸渍于储存在油扩散泵的壳体内的工作油中的配置被组装于壳体底部。