[发明专利]轴密封装置、旋转机械及轴密封装置的制造方法

权利要求书

1.一种轴密封装置，具备：

多个片，在旋转轴的周向上配置多个，将所述旋转轴的周围的空间在所述旋转轴的轴向上划分成两个空间；及

侧密封板，在所述轴向上配置于所述多个片的一侧，且具有与所述多个片的所述一侧的侧端部相对的相对面，

所述侧密封板的所述相对面具有降低所述相对面与所述侧端部的表面之间的摩擦力的摩擦降低部，

所述摩擦降低部包括在所述相对面通过织构化处理而形成的凹坑状或格子状的微观层次的凹凸面。

2.根据权利要求1所述的轴密封装置，其中，

所述摩擦降低部包括形成在所述侧端部的表面的凹面或凸面。

3.一种旋转机械，具备：

旋转轴；及

在所述旋转轴的周围配置的权利要求1或2所述的轴密封装置。

4.一种轴密封装置的制造方法，所述轴密封装置具备多个片及以与所述多个片的侧端部相对的方式配置的侧密封板，所述轴密封装置的制造方法包括如下工序：

对于与所述多个片的所述侧端部相对的所述侧密封板的相对面，进行用于降低所述相对面与所述侧端部的表面之间的摩擦力的摩擦降低处理的工序；

在旋转轴的周向上配置多个所述多个片，将所述旋转轴的周围的空间在所述旋转轴的轴向上划分成两个空间的工序；及

在所述轴向上，在所述多个片的一侧以使所述多个片的所述一侧的侧端部与所述相对面相对的方式配置所述侧密封板的工序，

所述摩擦降低处理形成在所述相对面通过织构化处理而形成的凹坑状或格子状的微观层次的凹凸面。