[发明专利]光检测装置

说明书

本发明所涉及的光谱传感器(1A)的特征在于：具备：法布里‑珀罗干涉滤光片(10)，具有光透过区域(11)；光检测器(3)，检测透过光透过区域(11)的光；垫片(4A,4B)，在光透过区域(11)的周围区域支撑法布里‑珀罗干涉滤光片(10)；芯片键合树脂(5)，粘结法布里‑珀罗干涉滤光片(10)和垫片(4A,4B)。芯片键合树脂(5)在从光透过区域(11)中的光的透过方向来看的情况下具有连通周围区域的内侧和周围区域的外侧的一个开口部(A2)。

技术领域

本发明涉及具备法布里-珀罗干涉滤光片的光检测装置。

背景技术

例如在专利文献1中记载有现有的光检测装置。在该光检测装置中，法布里-珀罗干涉滤光片通过粘结部被固定于具有贯通孔的支撑基板的一方的面上。另外，在光检测装置中，在支撑基板的另一方的面上受光元件被配置于对应于贯通孔的位置。在像这样的光检测装置中，法布里-珀罗干涉滤光片只让特定波长的光透过。透过干涉滤光片的光通过支撑基板的贯通孔入射到受光元件。法布里-珀罗干涉滤光片具有夹住空隙并进行相对的一对反射镜。法布里-珀罗干涉滤光片进行透过的光的波长对应于该一对反射镜之间的距离而发生变化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利申请公开2012-173347号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在以上所述那样的光检测装置中，粘结部是以围绕法布里-珀罗干涉滤光片的光透过区域的形式被配置的。关于该结构，在光检测装置的周围的温度发生变化的情况下例如在支撑基板等会发生热应变(thermal strain)，该热应变会传递到法布里-珀罗干涉滤光片。因此，会担忧法布里-珀罗干涉滤光片的一对反射镜之间的距离发生变化。在此情况下，在法布里-珀罗干涉滤光片的透过波长上产生变化。因此，法布里-珀罗干涉滤光片的透过波长的温度特性发生劣化。

因此，本发明的目的在于提供一种能够抑制法布里-珀罗干涉滤光片的透过波长的温度特性发生劣化的光检测装置。

解决技术问题的手段

本发明的一个方式所涉及的光检测装置的特征在于：具备：法布里-珀罗干涉滤光片，具有光透过区域；光检测器，检测透过光透过区域的光；支撑构件，在光透过区域的周围区域支撑法布里-珀罗干涉滤光片；粘结部，粘结法布里-珀罗干涉滤光片和支撑构件；粘结部在从光透过区域中的光的透过方向来看的情况下具有连通周围区域的内侧和周围区域的外侧的开口部。

在该光检测装置中，粘结法布里-珀罗干涉滤光片和支撑构件的粘结部在从光透过区域中的光的透过方向来看的情况下具有连通光透过区域的周围区域的内侧和该周围区域的外侧的开口部。为此，对于开口部来说能够抑制来自法布里-珀罗干涉滤光片的周边构件的热应变通过粘结部而传递到法布里-珀罗干涉滤光片。因此，能够抑制法布里-珀罗干涉滤光片的透过波长的温度特性的劣化。

在此，本发明的一个形态所涉及的光检测器进一步具备连接相对于光检测器或者法布里-珀罗干涉滤光片被电连接的引线(wire)的一端并且相对于光检测器或者法布里-珀罗干涉滤光片输入或者输出电信号的引线连接部，引线连接部的上面也可以被配置于低于法布里-珀罗干涉滤光片的上面的位置。如果由该结构的话则会变得容易实行从法布里-珀罗干涉滤光片或者光检测器到引线销针的引线连接。

另外，引线连接部的上面也可以被配置于低于支撑构件的上面的位置。如果由该结构的话则会变得容易实行从法布里-珀罗干涉滤光片或者光检测器到引线销针的引线连接。