[发明专利]光检测装置有效
| 申请号: | 201480059031.2 | 申请日: | 2014-10-31 |
| 公开(公告)号: | CN105683726B | 公开(公告)日: | 2019-05-07 |
| 发明(设计)人: | 柴山胜己;笠原隆;广瀬真树;川合敏光 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号: | G01J3/26 | 分类号: | G01J3/26 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 检测 装置 | ||
1.一种光检测装置,其特征在于:
具备:
法布里-珀罗干涉滤光片,具有光透过区域;
光检测器,检测透过所述光透过区域的光;
支撑构件,在所述光透过区域的周围区域支撑所述法布里-珀罗干涉滤光片;
粘结部,粘结所述法布里-珀罗干涉滤光片和所述支撑构件;
在从所述光透过区域中的光的透过方向看的情况下,所述粘结部具有连通所述周围区域的内侧和所述周围区域的外侧的开口部,
在从所述透过方向看的情况下,所述支撑构件与所述光透过区域分开,
所述法布里-珀罗干涉滤光片具有第1反射镜和第2反射镜、以及支撑所述第1反射镜和所述第2反射镜的基板,通过调整所述第1反射镜和所述第2反射镜的距离来选择透过的光的波长。
2.如权利要求1所述的光检测装置,其特征在于:
进一步具备引线连接部,其连接于相对于所述光检测器或者所述法布里-珀罗干涉滤光片被电连接的引线的一端并且相对于所述光检测器或者所述法布里-珀罗干涉滤光片输入或者输出电信号,
所述引线连接部的上表面被配置于低于所述法布里-珀罗干涉滤光片的上表面的位置。
3.如权利要求2所述的光检测装置,其特征在于:
所述引线连接部的上表面被配置于低于所述支撑构件的上表面的位置。
4.如权利要求2所述的光检测装置,其特征在于:
所述引线连接部包含被电连接于所述光检测器的第1引线连接部和被电连接于所述法布里-珀罗干涉滤光片的第2引线连接部,
所述第1引线连接部与所述法布里-珀罗干涉滤光片的距离成为最短的第1方向,相对于所述第2引线连接部与所述法布里-珀罗干涉滤光片的距离成为最短的第2方向交叉。
5.如权利要求3所述的光检测装置,其特征在于:
所述引线连接部包含被电连接于所述光检测器的第1引线连接部和被电连接于所述法布里-珀罗干涉滤光片的第2引线连接部,
所述第1引线连接部与所述法布里-珀罗干涉滤光片的距离成为最短的第1方向,相对于所述第2引线连接部与所述法布里-珀罗干涉滤光片的距离成为最短的第2方向交叉。
6.如权利要求1~5中任意一项所述的光检测装置,其特征在于:
在从所述透过方向看的情况下,所述粘结部被设置于所述法布里-珀罗干涉滤光片的一侧和与其邻接的一侧。
7.如权利要求1~5中任意一项所述的光检测装置,其特征在于:
进一步具备配线基板,
所述光检测器以及所述支撑构件被固定于所述配线基板上。
8.如权利要求1~5中任意一项所述的光检测装置,其特征在于:
所述支撑构件被固定于所述光检测器上。
9.如权利要求1~5中任意一项所述的光检测装置,其特征在于:
在从所述透过方向看的情况下,所述粘结部只被设置于所述法布里-珀罗干涉滤光片的一侧。
10.如权利要求1~5中任意一项所述的光检测装置,其特征在于:
在从所述透过方向看的情况下,所述支撑构件具有连通所述周围区域的内侧和所述周围区域的外侧的开口部。
11.如权利要求1~5中任意一项所述的光检测装置,其特征在于:
所述法布里-珀罗干涉滤光片具有键合焊垫,
在从所述透过方向看的情况下,所述支撑构件被配置于对应于所述键合焊垫的位置。
12.如权利要求6所述的光检测装置,其特征在于:
进一步具备配线基板,
所述光检测器以及所述支撑构件被固定于所述配线基板上。
13.如权利要求6所述的光检测装置,其特征在于:
所述支撑构件被固定于所述光检测器上。
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