[发明专利]减小由化学强化处理导致的玻璃基板的翘曲的方法、化学强化玻璃及其制造方法

权利要求书

1.一种减小玻璃基板的翘曲的方法，其通过在利用浮法成形且具有成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面的玻璃基板的至少顶面上形成至少一层膜，从而减小之后的化学强化处理所导致的玻璃基板的翘曲，其中，

所述玻璃基板为利用硝酸钾熔盐在420℃下进行150分钟化学强化处理时的压应力层深度为20μm以下的玻璃基板，

所述膜含有至少一种以上包含硅的氧化物及复合氧化物，且膜厚为17nm以上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述膜的膜密度为1.9g/cm³以上。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述玻璃基板用于化学强化温度为T(单位：K)、化学强化时间为t(单位：小时)的化学强化处理，且所述玻璃基板含有SiO₂，使用SiO₂、Al₂O₃、MgO、CaO、SrO、BaO、ZrO₂、Na₂O和K₂O各自的以质量百分率计的含量利用下式求出的dol为20以下，

dol＝-0.13×Al₂O₃-1.88×MgO-2.41×CaO-1.85×SrO-1.35×BaO-1.59×ZrO₂+1.50×Na₂O+2.42×K₂O-129359/T+9.28×t^0.5+182.88。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的方法，其中，以氧化物基准的质量百分率计，所述玻璃基板含有60～80％的SiO₂、0.01～8％的Al₂O₃、8～22％的Na₂O、0～7％的K₂O、0～17％的MgO、0～22％的CaO、0～8％的SrO、0～8％的BaO、0～5％的ZrO₂。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的方法，其中，以氧化物基准的质量百分率计，所述玻璃基板含有60～80％的SiO₂、0.01～8％的Al₂O₃、8～22％的Na₂O、0～7％的K₂O、0～5％的ZrO₂，在含有MgO、CaO、SrO和BaO中的至少一种的情况下，MgO、CaO、SrO和BaO的含量的合计为5～25％，Na₂O与K₂O的含量之和与Al₂O₃的含量之比(Na₂O+K₂O)/Al₂O₃为1.5以上。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述(Na₂O+K₂O)/Al₂O₃为10以下。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的方法，其中，所述玻璃基板含有CaO、SrO和BaO中的至少一种，且CaO、SrO和BaO的含量的合计以氧化物基准的质量百分率计为1～10％。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的方法，其中，所述膜为通过常压CVD法形成的膜。

9.一种化学强化玻璃的制造方法，其包括如下工序：

成膜工序，对于利用浮法成形、具有成形时与熔融金属接触的底面和与该底面相对的顶面、且利用硝酸钾熔盐在420℃下进行150分钟化学强化处理时的压应力层深度为20μm以下的玻璃基板，在该玻璃基板的所述顶面上形成至少一层膜；和

化学强化工序，对形成有所述膜的所述玻璃基板进行化学强化处理；

其特征在于，

在所述成膜工序中，形成所述膜使得所述膜含有至少一种以上包含硅的氧化物及复合氧化物且膜厚为17nm以上，由此减小所述化学强化工序中的所述玻璃基板的翘曲。

10.根据权利要求9的化学强化玻璃所述的制造方法，其中，在所述成膜工序中，形成所述膜使得膜密度为1.9g/cm³以上。