[发明专利]一种电镀装置及传感装置

权利要求书

1.一种电镀装置，包括：

一固定部件，固定作为阴极的一电镀对象；

一垫片，通过环绕于所述电镀对象的环形的第一密封部件堆叠于所述固定部件上，且包含一贯穿部件，贯穿部件暴露所述电镀对象且储存了电镀液；以及

一阳极部件，通过环绕所述贯穿部件的环形的一第二密封部件堆叠于所述垫片上，且包含一阳极溶层，阳极溶层正对被暴露在所述贯穿部件下的所述电镀对象；

其中，所述垫片包括一垫片主体，垫片主体由一绝缘层组成，以及一阳极侧导电层，阳极侧导电层设置于垫片主体的表面上，正对所述阳极部件，

所述阳极部件包括一阳极部件主体，阳极部件主体由一绝缘层组成，以及一阳极溶层，阳极溶层设置于阳极部件主体的表面上，正对所述垫片组成的，

所述阳极侧导电层与所述第二密封部件内的所述阳极溶层连接，以及

所述阳极侧导电层与所述第二密封部件外的电源连接。

2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述阳极部件主体包括一光导窗口，用于观察暴露于所述贯穿部件的所述电镀对象，以及

所述阳极溶层环绕所述窗口周围形成。

3.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述窗口有比所述阳极部件主体的其它部分更小的厚度。

4.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述窗口的厚度t1的范围是0.05mm≤t1≤2mm。

5.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述阳极部件主体有一锥形部分，锥形部分环绕所述窗口并向所述窗口方向倾斜。

6.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述垫片的厚度t2的范围是0.05mm≤t2≤1mm。

7.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述垫片包括一阴极侧导电层，阴极侧导电层设置于垫片主体的表面上，正对所述固定部件，

所述阴极侧导电层与所述第一密封部件内的所述电镀对象连接，以及

所述阴极侧导电层与所述第一密封部件外的电源连接。

8.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述垫片包括一参考电极导电层，与所述垫片主体表面的所述阳极侧导电层绝缘，并正对所述阳极部件，

所述阳极部件包括一参考电极层，与所述阳极部件主体表面上的所述阳极溶层绝缘，并正对所述垫片，

所述参考电极导电层与所述第二密封部件内的所述参考电极层连接，以及

所述参考电极导电层与所述第二密封部件外部的检测设备连接。

9.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述固定部件或者所述阳极部件包括一电镀液供应通道，用于给所述贯穿部件提供电镀液，以及

所述固定部件或者所述阳极部件包括一电镀液排放通道,所述电镀液通过电镀液排放通道从所述贯穿部件排出。

10.根据权利要求7所述的电镀装置，其特征在于，所述电镀液是化学镀液，一检测设备而非电源被连接，以检测阳极和阴极之间的电势。

11.一种传感装置，包括如权利要求1-9中任意一条所述的电镀装置，其特征在于，所述阳极侧导电层由多个相互绝缘的阳极侧导电层构成，

所述阳极溶层由与所述阳极侧导电层相同数量的相互绝缘的阳极溶层构成，所述阳极溶层与所述阳极侧导电层的的位置相对应，以及

被暴露在所述贯穿部件下的所述阳极溶层的各个部分，分别由不同的反应基改性。