[发明专利]借助脉冲激光射线对工件进行去料切割的方法

权利要求书

1.用于借助脉冲激光射线(2)对可透光工件(1)进行去料的方法，其特征在于，包括以下方法步骤：

a)对该工件表面(3)进行预处理，其方式是，通过用脉冲激光射线(2)沿着表面轨迹(4)经过工件表面(3)来使表面附近的工件区域的透射率减小，其中，该脉冲激光射线(2)的彼此相继的激光脉冲(2′，2")在所述工件表面(3)上沿轨迹方向(5)具有第一脉冲重叠(6₁)；并且

b)通过用脉冲激光射线(2)沿着所述表面轨迹(4)多次经过所述工件表面(3)来对预处理过的该工件表面(3)进行去料，其中，该脉冲激光射线(2)的彼此相继的激光脉冲(2′，2")在该工件表面(3)上沿轨迹方向(5)具有小于所述第一脉冲重叠(6₁)的第二脉冲重叠(6₂)。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤a)和步骤b)中，所述激光脉冲(2′，2")分别具有相等的脉冲功率并且在所述工件表面(3)上分别具有相等的直径。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，通过改变脉冲频率或改变经过速度来实现步骤a)和步骤b)中的不同的脉冲重叠。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，第一脉冲重叠(6₁)大于90％。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，第二脉冲重叠(6₂)小于70％。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在步骤a)或步骤b)中，激光射线(2)在轨迹方向(5)上在多个相互横向错开的表面轨迹(4a-4c)中经过所述工件表面(3)。

7.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在步骤a)中用激光射线(2)经过所述工件表面最多两次。

8.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在步骤a)和步骤b)中借助同一个激光器来产生激光射线(2)。

9.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在步骤a)中，所述工件表面的预处理包括使该工件表面粗糙化。

10.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，多次重复步骤b)，直至沿着所述表面轨迹(4)将所述工件(1)完全切断。

11.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，通过机械去料法在去料过的所述表面轨迹(4)上将所述工件(1)完全切断。

12.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述工件(1)的两侧沿着相同的表面轨迹(4)执行步骤a)和步骤b)。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，首先在所述工件(1)的一侧上执行步骤a)和b)，然后在翻转过来的另一侧上执行步骤a)和b)。