[发明专利]汽化单元以及借助所述类型汽化单元来真空涂布物件的方法有效
| 申请号： | 201480033344.0 | 申请日： | 2014-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN105283575B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | A·德拉肯;R·K·格劳;R·恩古梅尼雅皮;H·J·施瓦格 | 申请（专利权）人： | 钴碳化钨硬质合金公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛青;卢亚静 |
| 地址： | 美国宾*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 汽化 单元 以及 借助 类型 真空 物件 方法 | ||
1.一种汽化单元(2)，包括：
顶侧(4)，具有由环绕幅材(10)限定的内腔(6)，
外腔(8)，连接至所述环绕幅材(10)，和
外边缘(12)，围绕外腔(8)延伸，
其中，所述外腔(8)以及所述幅材(10)被设计为沿所述顶侧(4)的周边边缘，并且所述内腔(6)完全覆盖由所述幅材(10)所包围的区域；
其中，所述汽化单元(2)是电阻加热的；并且
其中，所述外腔(8)比所述内腔(6)深，并且所述外腔(8)具有外部汽化表面，该外部汽化表面的操作温度比所述内腔(6)的内部汽化表面的操作温度高。
2.根据权利要求1所述的汽化单元(2)，其中，
所述外腔(8)被设计为环绕通道。
3.根据权利要求1所述的汽化单元(2)，其中，
所述内腔(6)的内部汽化表面占所述顶侧(4)的总表面区域(A1)的25％到85％之间。
4.根据权利要求1所述的汽化单元(2)，其中，
所述内腔(6)具有范围在所述顶侧(4)的总宽度(B1)的30％与60％之间的宽度(B2)以及范围在所述顶侧(4)的总长度(L1)的60％与80％之间的长度(L2)。
5.根据权利要求1所述的汽化单元(2)，其中，
所述幅材(10)具有在0.5mm与5mm之间的幅材宽度(W3)。
6.根据权利要求1所述的汽化单元(2)，其中，
所述内腔(6)和所述外腔(8)均具有在0.1mm与5mm之间的深度(T)。
7.根据权利要求1所述的汽化单元(2)，其中，
所述外腔(8)的外部汽化表面区域(A3)的范围在所述内腔(6)的内部汽化表面区域(A2)的15％与35％之间。
8.根据权利要求1所述的汽化单元(2)，其中，
所述内腔(6)呈矩形形式。
9.根据权利要求1所述的汽化单元，其中，所述内腔的内部汽化表面占所述顶侧的总表面区域的40％到65％之间。
10.根据权利要求1所述的汽化单元，其中，所述内腔和所述外腔均具有在0.3mm与3mm之间的深度。
11.根据权利要求1所述的汽化单元，其中，所述幅材具有在1mm与4mm之间的幅材宽度。
12.一种用于借助根据权利要求1所述的汽化单元(2)真空涂布物件的方法，其中对所述汽化单元(2)加热并且将待汽化的金属供料至所述内腔(6)，在所述内腔(6)中，所述金属会熔化和汽化，其中为加热所述汽化单元(2)而输出的热量与金属供料速率经协调以使得所述内腔(2)完全被熔融金属所覆盖。
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