[发明专利]固体摄像元件及其制造方法、红外光截止滤波器形成用硬化性组合物、照相机模块

说明书

技术领域

本发明涉及一种固体摄像元件及其制造方法，特别涉及一种含有含钨氧化物微粒子的红外光截止滤波器的固体摄像元件及其制造方法。

另外，本发明涉及一种红外光截止滤波器形成用硬化性组合物及照相机模块(cameramodule)。

背景技术

近年来，为了实现数字照相机或移动电话等的画质提高，正在进行摄像元件的技术革新。迄今为止，主要着眼于增多像素数，但也设法利用像素数以外的技术来提高画质。

例如在专利文献1中揭示有一种固体摄像元件用彩色滤光片(colorfilter)，其是将红绿蓝三原色的滤波器、与至少在红外范围内具有灵敏度的红外滤波器(红外光截止滤波器)组合配置而成。更具体而言，揭示有一种固体摄像元件用彩色滤光片，其特征在于：在配置有上述三原色的彩色滤波器的像素位置上，进一步配置有阻断红外光的红外光截止滤波器。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2005-6066号公报

发明内容

发明要解决的课题

另一方面，在专利文献1中，并无与红外光截止滤波器中使用的材料有关的记载，另外，并未暗示利用具有微影性能的材料来形成红外光截止滤波器。

本发明人等人关于红外光截止滤波器中使用的材料进行了研究，结果得知，视所使用的材料不同，有时与红外光截止滤波器邻接而配置的三原色的彩色滤波器的分光特性劣化。

鉴于上述实际情况，本发明的目的在于提供一种固体摄像元件，其具备抑制邻接的三原色的彩色滤波器的分光特性产生劣化的红外光截止滤波器。

另外，本发明的目的也在于提供一种上述固体摄像元件的制造方法及红外光截止滤波器形成用硬化性组合物。

解决问题的技术手段

本发明人等人对现有技术的问题进行了努力研究，结果发现，通过使用显示出既定特性的含钨氧化物微粒子的层作为红外光截止滤波器，可解决上述课题。

即发现，可通过以下构成来达成上述目的。

(1)一种固体摄像元件，具有：

半导体基板；

排列于半导体基板的受光面侧的构成多个像素的多个光电转换元件；及

与多个光电转换元件相对应、且配置于多个光电转换元件各自的光入射侧的滤光片层；并且

滤光片层至少包含透射红色的波长范围的光的红色彩色滤光片、透射绿色的波长范围的光的绿色彩色滤光片、透射蓝色的波长范围的光的蓝色彩色滤光片、及阻断红外光的红外光截止滤波器，

红外光截止滤波器是与红色彩色滤光片、绿色彩色滤光片及蓝色彩色滤光片的至少一个邻接而配置，

在红外光截止滤波器中含有含碱金属的钨氧化物微粒子，

红外光截止滤波器的800nm～1300nm的波长范围的透射率为60％以下。

(2)根据(1)所记载的固体摄像元件，其中红外光截止滤波器的厚度为10μm以下。

(3)根据(1)或(2)所记载的固体摄像元件，其中红外光截止滤波器的900nm～1300nm的波长范围的透射率为5％以下。

(4)根据(1)至(3)中任一项所记载的固体摄像元件，其中红外光截止滤波器是配置于红色彩色滤光片、绿色彩色滤光片及蓝色彩色滤光片的至少一个的光入射侧。

(5)根据(1)所记载的固体摄像元件，其中红外光截止滤波器的厚度为1.0μm以下。

(6)根据(1)至(5)中任一项所记载的固体摄像元件，其中相对于红外光截止滤波器的总固体成分质量，钨氧化物微粒子的含量为21质量％～70质量％。

(7)根据(1)至(6)中任一项所记载的固体摄像元件，其中相对于红外光截止滤波器的总固体成分质量，钨氧化物微粒子的含量为40质量％～60质量％。

(8)根据(1)至(7)中任一项所记载的固体摄像元件，其中自光入射侧观察的红外光截止滤波器的形状为大致四角形状，且其一边为2μm以下。

(9)根据(1)至(8)中任一项所记载的固体摄像元件，其中红外光截止滤波器是由至少含有钨氧化物微粒子、碱可溶性粘合剂及聚合性化合物的硬化性组合物所形成。

(10)根据(9)所记载的固体摄像元件，其中聚合性化合物为在分子内具有多个聚合性基的多官能聚合性化合物。

(11)根据(9)或(10)所记载的固体摄像元件，其中碱可溶性粘合剂包含将含有后述通式(ED)所表示的化合物的单体成分聚合而成的聚合物。