[发明专利]透明层叠膜、透明导电性膜和气体阻隔性层叠膜

说明书

技术领域

本发明涉及例如可作为太阳能电池、有机系太阳能电池、柔性显示器、有机EL照明、触控面板等的基板材料使用的透明层叠膜，进一步涉及具备导电性的透明导电性膜和具备气体阻隔层的气体阻隔性层叠膜。

背景技术

以往，作为有机EL等各种显示元件、太阳能电池等的基板材料，使用玻璃材料。然而，玻璃材料不仅具有容易破裂、较重、难以薄型化等缺点，而且对于近年来的显示器的薄型化和轻量化、显示器的柔性化而言称不上是充分的材质。因此，作为代替玻璃的代替材料，研究了薄型且轻量的透明树脂制的膜状基板。

这种用途中，使用膜状的树脂制基板时，对膜要求高的耐热性。例如，树脂膜上形成TFT等电路时，为了在形成电路时不发生图案偏移，对用于这种用途的树脂膜要求在作为TFT的热处理温度的200℃左右的高的尺寸稳定性。

对于具备气体阻隔性的树脂膜，为了不会对具备气体阻隔性的功能层带入裂痕或引入褶皱而导致该功能层被破坏而损害包括气体阻隔性的功能，要求在150℃以上的高温环境下的热尺寸稳定性。

然而，以往的通常的聚酯膜等在150℃以上的高温环境、具体而言在150℃～200℃的高温环境下的热尺寸稳定性不充分。因此，近年来，作为气体阻隔加工用膜、柔性显示器基板用膜，要求具有高的热尺寸稳定性的树脂膜。

作为对树脂膜赋予高温环境下的尺寸稳定性的方法，例如，专利文献1中公开了附加热松弛处理(也称为“退火处理”“热定型处理”)作为膜制造工序的最终方法的方法。

此外，专利文献2和3中公开了在通过通常的工序制造的膜的表面形成各种涂膜的方法。

在透明树脂制的膜上形成透明导电膜例如ITO(氧化铟锡)等金属氧化膜时，由于通常在室温下溅射形成，所以该膜的非晶性高。因此，透明树脂制的膜上形成有透明导电膜的膜与在玻璃基材上形成有ITO膜等透明导电膜的膜相比在表面电阻值、耐久性、耐酸性等方面显著差。因此，近年来寻求提高透明导电膜的结晶性的透明导电性膜。

作为提高ITO膜等透明导电膜的结晶性的方法，例如，专利文献4中公开了在高分子膜基材上将ITO膜成膜后，实施热处理而使ITO结晶化的方法，专利文献5中公开了对ITO膜照射微波的结晶化方法。

另一方面，专利文献6中公开了使用将光聚合性组合物固化而得到的树脂成型体的太阳能电池用透明电极基板。该树脂成型体的耐热性高，因此在透明电极层的形成时能够将基材温度上升至150℃。

此外，专利文献7中作为透明导电性膜公开了在高分子膜的两面具有有机层，在该有机层的至少一面具有无机层，进一步在最外层具有透明导电层的透明导电性膜。该透明导电性膜具有即使增加导电层的厚度也不易产生破裂的弯曲性，因此可以相对地增厚导电层的厚度而降低表面电阻值。

专利文献8中公开了包含经涂覆的聚酯基板层和含有导电性材料的电极层的、用于电子设备的复合膜。该复合膜的经涂覆的聚酯基板的挠性得到改善，具有耐开裂性。

专利文献9中公开了以环状烯烃系聚合物层、分散含有金属氧化物微粒的锚固涂层和透明导电层这样的顺序层叠而成的层叠膜。该层叠膜具有透明导电层长期不产生龟裂、且保持低电阻值、高强度且机械耐久性优异的性质，可用于触控面板用途。

此外，作为可用于透明基板的透明膜，专利文献10中公开了在基材膜的表背两侧具有固化层的透明层叠膜。该透明层叠膜具有透明性和高温下的热尺寸性优异的性质，可用作太阳能电池、有机系太阳能电池、柔性显示器、有机EL照明、触控面板等的基材。

除此以外，作为可用于透明基板的透明膜，专利文献11中公开了一种复合膜，该复合膜为含有聚合物基板和平坦化涂覆层的膜，具有形成于该涂覆层表面上的阻隔层。该复合膜由于聚合物基板被热定型和热稳定化，因此具有高的尺寸稳定性。

专利文献12中公开了具备平均线膨胀系数为50ppm/K以下的层(A层)和拉伸弹性模量为1GPa以下的层(B层)的透明多层片材。更具体而言，公开了由B层/A层/B层的3层构成的透明多层片材等，公开了该多层片材的全光线透射率为91％以及平均线膨胀系数为43ppm/K，透明性和尺寸稳定性优异。

专利文献13中公开了一种层叠膜，该层叠膜在具有环状烯烃系聚合物的膜(I)的两面具有含粒子层(II)，该含粒子层(II)是使用以特定的化合物进行表面改性的氧化物粒子以及含有具有特定结构的聚合性不饱和基的固化性组合物而形成的，该含粒子层(II)相对于膜(I)的膜厚100在0.1～30的范围层叠而成。