[实用新型]基板收纳容器

权利要求书

1.一种基板收纳容器，其特征在于包括有：

一本体，该本体具有一用以收纳多个薄化基板的容置空间与一开口；

一用以盖合该本体的该开口的门体；及

数个齿肋部，环绕该本体的内周缘而呈现C型开口且彼此间大致以垂直间隔相互对齐而设立，并支撑该些薄化基板，而该每一齿肋部在靠近该C型开口的两侧端各设有一往该容置空间突伸的延伸部，该每一齿肋部具有一自该延伸部最外缘至该齿肋部最内缘的纵向延伸长；且该每一齿肋部具有一较窄横向开口宽；

其中，该每一齿肋部具有一纵向比介于0.85与1.0之间，并确保该薄化基板向外的翘曲量不超过该些齿肋部之间垂直间隔的间距，该纵向比是定义为该齿肋部的纵向延伸长与该薄化基板的直径的比值；

其中，该每一齿肋部具有一横向比介于0.6与0.7之间，并确保该薄化基板向内的翘曲量不超过该些齿肋部之间垂直间隔的间距，该横向比是定义为该齿肋部的该较窄横向开口宽与该薄化基板的直径的比值。

2.如权利要求1的基板收纳容器，其特征在于该每一齿肋部的内周缘具有大致相同的厚度，且具有静电消散的功效。

3.如权利要求1的基板收纳容器，其特征在于在相邻该本体开口的两相对侧壁分别设有数对支撑肋，每对支撑肋对应该每一齿肋部，且该每对支撑肋与该每一齿肋部之间是一体成型的。

4.如权利要求3的基板收纳容器，其特征在于在该每一齿肋部两侧的部份下表面分别凹设一凹陷段差，并对应容置该每对支撑肋。

5.如权利要求1的基板收纳容器，其特征在于该基板收纳容器属前开式容器且该本体具有一可拆卸的后壁，该基板收纳容器于清洗后烘干时，移除该后壁时形成相对该门体的该开口的另一开口并使烘干的热气能于该前开式容器内快速对流。

6.如权利要求5的基板收纳容器，其特征在于该本体内容置该些薄化基板的数目不超过13，且该些齿肋部之间垂直间距至少达20厘米。

7.如权利要求1的基板收纳容器，其特征在于进一步在其底部包含一运动耦合部，该基板收纳容器收纳数个第一直径晶圆，通过该运动耦合部该基板收纳容器耦合至用以处理第二直径晶圆的机台介面，其中第一直径小于第二直径。

8.如权利要求1的基板收纳容器，其特征在于该本体内更进一步设有一进气埠及一出气埠，其中该进气埠与该出气埠相邻该本体的开口，且分别相邻该本体的两侧壁。

9.如权利要求8的基板收纳容器，其特征在于该基板收纳容器属于前开式容器，且其本体具有一可拆卸的后壁，该基板收纳容器移除该后壁时形成相对该门体的该开口的另一开口并使烘干的热气能于该前开式容器内快速对流，且该后壁的上缘设有一提把部，其对应一凹接部以将多个基板收纳容器堆叠置放。

10.一种基板收纳容器，其特征在于包含一本体与一门体，该本体包括有一对相向的侧壁、一顶面、一底面及一后壁，该顶面与该底面连接该对侧壁，并于相向该后壁形成一前向开口，而该门体紧密扣合该开口且该本体的内部具有一容置空间，分别在该对侧壁的内表面设置彼此垂直对齐的数个齿肋部以在该容置空间内水平收纳数个垂直排列的第一直径的晶圆，其中该后壁是通过一导槽以供其可活动地置入或移除，且该本体的底部设有一运动耦合部，而通过该运动耦合部使该基板收纳容器耦合至用以处理第二直径的晶圆的机台介面，其中该第一直径小于该第二直径。