[实用新型]一种石墨舟和载车间的支撑结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能等离子增强型化学气相沉积技术领域的生产设备石墨舟，尤其是涉及一种石墨舟和载车间的支撑结构。

背景技术

石墨舟是一种在等离子增强型化学气相沉积（PECVD）管式炉内对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜镀层的承载工具。石墨舟在插卸硅片的过程中是放置于专用的载车上，其放置的姿态需求平放和倾斜放置两种，以便于员工将硅片插入和卸出石墨舟。一般的石墨舟载车无法实现如上功能。

如中国专利公开号：CN202214416U，公开日2012年5月9日的专利文件中，公开了一种用于PECVD工序的石墨舟运载车，包括车架，所述车架上方依次设置有底座及与所述底座的上端固定连接的用于承载石墨舟的平台。上述运载车的平台和石墨舟相固定，无法转动。

再如中国专利公开号：CN203393224U，公开日2014年1月15日的专利文件中，公开了一种新型PECVD上料的石墨舟小推车，包括石墨舟存放台面和结构框架，所述石墨舟存放台面设在所述结构框架上，所述结构框架的顶部设有转动轴，所述转动轴上设有所述石墨舟存放台面。上述新型PEVCD上料的石墨舟小推车可以实现转动成倾斜状态方便员工操作，但是倾斜状态下不安全，在员工操作过程中容易发生不慎将石墨舟从小推车存放台面上翻下的事故。

实用新型内容

本实用新型是为了克服上述现有石墨舟及其载车间连接结构的不足之处，提供了一种能有效防止石墨舟翻落的石墨舟和载车间的支撑结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型的一种石墨舟和载车间的支撑结构，包括石墨舟底部的舟脚和载车顶部的平台，所述平台两侧各设有卡接部，所述卡接部和舟脚间为卡接结构，所述卡接部和石墨舟的舟身之间还设有固定卡扣，所述固定卡扣包括U形的折弯部，所述折弯部开口端一侧设有连接卡接部的连接板，折弯部开口端另一侧设有支撑石墨舟舟身的支撑板。

本实用新型中石墨舟和载车间的支撑结构，主要为载车卡接部和石墨舟舟脚间为卡接结构，可以方便的放置和取出石墨舟。为了防止在倾斜状态下，员工操作过程中不慎将石墨舟从载车存放平台上翻下的情况，设置了一个固定卡扣，固定卡扣一端连接平台的卡接部，固定卡扣另一端支撑石墨舟舟身。固定卡扣U形的折弯部是为了更好的避开石墨舟舟脚位置，通过固定卡扣将石墨舟倾斜的重力传递至载车底座，从而增加石墨舟放置在载车上的稳定性。

作为优选，所述舟脚为倒U形，舟脚内拐角处设有倒角。倒角是为了防止石墨舟尖锐处破损。

作为优选，卡接部由两块侧板和一块顶板构成与舟脚卡接匹配的倒U形结构，所述侧板侧面垂直延伸出一块侧板连接部，固定卡扣的连接板和一块侧板连接部相固定。

作为优选，固定卡扣的连接板上设有两个螺栓孔，连接板和一块侧板连接部螺栓固定。

作为优选，固定卡扣的支撑板相对于折弯部竖直方向倾斜，支撑板一端顶住舟脚侧边，支撑板另一端顶住舟身底边，支撑板、舟脚和舟身构成三角支撑结构。三角支撑结构更加稳固。

作为优选，所述支撑板相对于折弯部竖直方向倾斜50度～70度。

更优选的，所述支撑板相对于折弯部竖直方向倾斜60度。

本实用新型具有如下有益效果：石墨舟和载车间为卡接结构，方便取放；设置了一个固定卡扣，将石墨舟倾斜的重力传递至载车底座，从而增加石墨舟放置在载车上的稳定性，防翻倒。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图。

图2是本实用新型中固定卡扣的结构示意图。

图中：舟脚1、卡接部2、侧板连接部21、舟身3、固定卡扣4、折弯部41、连接板42、支撑板43、螺栓孔44。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步的描述。

如图1、图2所示的实施例1中，一种石墨舟和载车间的支撑结构，包括石墨舟底部的舟脚1和载车顶部的平台。平台两侧各设有卡接部2，卡接部2和舟脚1间为卡接结构。舟脚1为倒U形，舟脚1内拐角处设有倒角。卡接部2由两块侧板和一块顶板构成与舟脚1卡接匹配的倒U形结构，侧板侧面垂直延伸出一块侧板连接部21。