[实用新型]一种全自动湿法擦片机有效
| 申请号： | 201420694076.4 | 申请日： | 2014-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN204247567U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 张俊生;刘沛然;罗翀;刘博;李路 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;H01L21/02 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 杨慧玲 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 湿法 擦片机 | ||
【权利要求书】：
1.一种全自动湿法擦片机，其特征在于：包括PLC控制系统、工作台、机械臂、转盘、滑轨、滚刷、硅片载槽和喷淋头，在所述工作台上设有所述转盘和硅片载槽，在所述工作台上位于所述转盘和硅片载槽之间设有所述机械臂，在所述转盘的上方设有所述滑轨，在所述滑轨上放有所述滚刷，在所述转盘的两侧设有所述喷淋头，所述喷淋头与供水系统相连，在所述转盘的下方设有吸盘，所述PLC控制系统分别与所述机械臂、转盘、滚刷和供水系统相连。
2.根据权利要求1所述的一种全自动湿法擦片机，其特征在于：在所述硅片载槽的四周各设有一个雾状喷水器。
3.根据权利要求1或2所述的一种全自动湿法擦片机，其特征在于：所述PLC控制系统为品牌OMRON，型号SYSMAC C200HX。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津中环领先材料技术有限公司，未经天津中环领先材料技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420694076.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：禽笼全方位清洗、消毒一体装置
- 下一篇：一种螺纹孔垂直度自动检测装置
