[实用新型]用于掩膜版外观检查的夹具

权利要求书

1. 一种用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：所述夹具包括支架、可旋转地设于支架上的框架及固定组件，掩膜版固定于所述框架上；

其中，所述支架两端设有轴孔，所述框架两端凸设有匹配容置于所述轴孔中的转轴，固定组件包括旋转定位盘和固定销，所述旋转定位盘固设于转轴末端并随转轴同步旋转，旋转定位盘的周缘设有第一定位孔，固定销穿过所述第一定位孔并抵于所述支架上以将所述框架固定于预定角度。

2. 如权利要求1所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：所述第一定位孔为多个等距间隔分布的分度孔，所述固定销为插销，所述支架对应于的旋转定位盘的位置设有一个第二定位孔或者设有多个与所述分度孔一一对应的第二定位孔，所述插销穿过所述分度孔且末端伸入所述第二定位孔中。

3. 如权利要求2所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：所述第一定位孔为螺孔，所述固定销为匹配螺合于所述螺孔内且末端抵于所述支架上的螺钉。

4. 如权利要求1所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：框架上设有与所述转轴平行并可固定于预定位置以卡持掩膜版的滑杆。

5. 如权利要求4所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：滑杆的侧壁上开设有用以卡持掩膜版一侧边的第一卡槽，所述框架与所述第一卡槽相对的内壁上开设有用以卡持掩膜版另一侧边的第二卡槽。

6. 如权利要求4所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：所述滑杆两端设有与所述框架的边框匹配的叉架，叉架上设有第三定位孔，定位销穿过第三定位孔并抵于所述边框上以将所述滑杆固定于预定位置。

7. 如权利要求6所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：所述边框上对应设有多个等距间隔分布的第四定位孔，所述定位销穿过所述第三定位孔且末端伸入所述第四定位孔中；或者，所述第三定位孔为螺孔，所述定位销为匹配螺合于所述螺孔内且末端抵于所述边框的螺栓。

8. 如权利要求1所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：所述转轴和轴孔之间设有轴承。

9. 如权利要求1所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：所述支架上设有照明灯具。

10. 如权利要求1至9中任一项所述的用于掩膜版外观检查的夹具，其特征在于：所述支架的四个角部下方分别设有轮架和轮子。