[实用新型]一种选择性发射电极太阳能电池的制备系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制备领域，尤其涉及一种选择性发射电极太阳能电池的制备系统。

背景技术

选择性发射电极就是在硅片正面和金属栅线电极的接触位置进行重掺杂（深扩散），在金属栅线电极之间的硅片区域进行轻掺杂（浅扩散）。这种结构的电池的有益效果是：由于重掺杂区域表面浓度高，根据金属-半导体接触电阻理论，电池的接触电阻小；载流子的复合速率和掺杂浓度的平方成反比关系，轻掺杂区域可以减少载流子的复合，提高载流子的收集效率；20%能量的入射光（短波）的吸收发生在电池的扩散层，浅扩散有利于短波太阳光子的量子效率，有利于电池效率的提升。

丝网印刷磷源单步扩散法是一种获得选择性发射电极电池的有效方法，这种选择性发射电极电池的优点是制备方法工艺简单，成本低，可大规模产业化。但是，由于印刷的磷浆含有很多成分，在扩散炉管中会挥发出来，这些杂质会在硅片表面沉积或者和硅进行各种物理化学反应，使得硅片出现外观不良，如出现斑点，电池效率提升空间有限。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种选择性发射电极太阳能电池的制备系统，可防止磷浆挥发物对硅片的影响，提高硅片的外观质量，保证电池的转换效率。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种选择性发射电极太阳能电池的制备系统，包括制绒设备、第一丝网印刷设备、热扩散设备、去PSG和边缘刻蚀设备、减反膜沉积设备、第二丝网印刷设备和烧结设备；所述热扩散设备包括炉管、POCl₃装置、大N₂管路、小N₂管路、O₂管路、O₃管路和紫外灯，所述POCl₃装置、大N₂管路、小N₂管路、O₂管路、O₃管路均和所述炉管连接。

其中，所述制绒设备是现有的用于对硅片表面制绒的设备；

所述热扩散设备用于对硅片进行热扩散；

所述去PSG(Phospho Silicate Glass磷硅玻璃)和边缘刻蚀设备是现有的用于去除硅片表面的磷硅玻璃和对硅片边缘进行刻蚀的设备；

所述减反膜沉积设备是现有的对硅片进行正面减反膜沉积工艺的设备；

所述烧结设备是现有的用于对半成品硅片进行烧结定型的设备；

所述POCl₃装置为现有的将POCl₃溶液与通入的N₂混合的设备；

所述炉管用于作为硅片的表面处理场所。

作为上述方案的改进，所述O₂管路和O₃管路进气端共同与O₂进气管连接，出气端与所述炉管连接；所述大N₂管路和小N₂管路进气端共同与N₂进气管连接，出气端与所述炉管连接，所述小N₂管路上设有所述POCl₃装置。

作为上述方案的改进，所述O₂管路和O₃管路出气端与所述大N₂管路连接，并通过所述大N₂管路连入所述炉管内。

作为上述方案的改进，所述紫外灯设于所述O₃管路上，并使所述O₃管路中流过的气体受到所述紫外灯的照射。

作为上述方案的改进，所述紫外灯由2-10根紫外灯管组成。

作为上述方案的改进，所述O₂管路与所述O₂进气管之间设有O₂阀；所述紫外灯与所述O₃管路之间设有O₃阀；所述大N₂管路上位于所述O₂管路和O₃管路出气端与所述大N₂管路连接处靠近进气方向一侧设有大N₂阀；所述小N₂管路靠近所述N₂进气管处设有小N₂阀。

作为上述方案的改进，所述第一丝网印刷设备为磷浆的印刷设备，其印刷的图案和选择性发射电极太阳能电池的正面电极图案相同。

作为上述方案的改进，所述第二丝网印刷设备为所述选择性发射电极太阳能电池的电极制造设备。