[实用新型]清洗喷射装置有效

专利信息
申请号: 201420553337.0 申请日: 2014-09-24
公开(公告)号: CN204208853U 公开(公告)日: 2015-03-18
发明(设计)人: 张磊;张明 申请(专利权)人: 北京七星华创电子股份有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;H01L21/67
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 李相雨
地址: 100015 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 清洗 喷射 装置
【权利要求书】:

1.一种清洗喷射装置,其特征在于,包括喷射臂、喷射梁以及喷嘴; 

所述喷射臂中设有第一液体通道和第一气体通道; 

所述喷射梁的一端与所述喷射臂的一端相连,所述喷射梁中设有第二液体通道和第二气体通道,所述第二液体通道与所述第一液体通道相连,所述第二气体通道与所述第一气体通道相连,所述喷射梁上还设有与所述第二液体通道和第二气体通道均相连的喷射口,所述喷嘴设置在所述喷射口上。 

2.根据权利要求1所述的清洗喷射装置,其特征在于,所述第一液体通道为多个,所述多个第一液体通道环列分布在所述第一气体通道周边。 

3.根据权利要求2所述的清洗喷射装置,其特征在于,所述喷射臂与所述喷射梁的连接处设有第一腔室和第二腔室,所述第二液体通道以及所述多个第一液体通道均与所述第一腔室相连,所述第二气体通道以及所述第一气体通道均与所述第二腔室相连。 

4.根据权利要求3所述的清洗喷射装置,其特征在于,所述第一腔室为环绕所述第二腔室的环形腔室。 

5.根据权利要求2所述的清洗喷射装置,其特征在于,所述第一液体通道设有单向阀。 

6.根据权利要求1所述的清洗喷射装置,其特征在于,所述喷射梁与水平面平行设置,所述喷射臂与水平面垂直设置,所述第二气体通道位于所述第二液体通道上方。 

7.根据权利要求1所述的清洗喷射装置,其特征在于,所述喷嘴中设有与所述第二液体通道相连的第三液体通道以及与所述第二气体通道相连的第三气体通道,所述喷嘴的末端设有与所述第三液体通道以及所述第三气体通道均相连的混合作用腔室。 

8.根据权利要求7所述的清洗喷射装置,其特征在于,所述第三液体通道环绕所述第三气体通道设置。 

9.根据权利要求1所述的清洗喷射装置,其特征在于,所述喷嘴为多个,所述喷嘴等间距布置在所述喷射梁上。 

10.根据权利要求1-9任一所述的清洗喷射装置,其特征在于,还包括旋转执行机构和升降执行机构; 

所述旋转执行机构控制所述喷射梁在水平方向以喷射臂为轴线做圆周移动,所述升降执行机构控制所述喷射梁在竖直方向移动。 

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