[实用新型]一种全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构有效

专利信息
申请号: 201420484205.7 申请日: 2014-08-26
公开(公告)号: CN204130563U 公开(公告)日: 2015-01-28
发明(设计)人: 周洪彪;刘文峰;汪已琳 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: H01L31/0747 分类号: H01L31/0747;H01L31/0224;H01L31/0236;H01L31/18
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人: 马强;刘佳芳
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 电极 型晶硅异质结 太阳电池 结构
【权利要求书】:

1.一种全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构,包括P型硅基底(1),其特征是,在所述P型硅基底(1)的前表面上由里至外依次有纳米绒面层(2)、P+型硼浅扩散晶硅层(4)以及SiOx钝化/SiNx减反层(5);所述P型硅基底(1)的背面分为N区(12)、P区(11)和位于N区(12)、P区(11)之间的开膜区(10);所述N区(12)从上到下包括本征非晶硅薄膜层(6)、n型非晶硅薄膜层(7)、透明导电薄膜层(8)和背电极层(9),且所述本征非晶硅薄膜层(6)与P型硅基底(1)的背表面连接;所述P区(11)从上到下包括P++型硼重扩散晶硅层(3)、透明导电薄膜层(8)以及背电极层(9),且所述P++型硼重扩散晶硅层(3)与所述P型硅基底(1)的背表面连接。

2.根据权利要求1所述全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构,其特征是,所述P型硅基底(1)为P型单晶硅或多晶硅,厚度为50μm~300μm。

3.根据权利要求1或2所述全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构,其特征是,所述纳米绒面层(2)为类金字塔状或蜂窝状,纳米绒面层厚度为50nm~900nm。

4.根据权利要求1或2所述全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构,其特征是,所述P+型硼浅扩散晶硅层(4)的厚度为0.1μm~0.5μm,方块电阻为50~200ohm/Sq。

5.根据权利要求1或2所述全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构,其特征是,所SiOx钝化/SiNx减反层(5)的总厚度为25nm~150nm。

6.根据权利要求1或2所述全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构,其特征是,所述本征非晶硅薄膜层(6)的厚度为1nm~50nm。

7.根据权利要求1或2所述全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构,其特征是,所述n型非晶硅薄膜层(7)厚度为2nm~20nm,方阻为10~100ohm/Sq。

8.根据权利要求1或2所述全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构,其特征是,所述P++型硼重扩散晶硅层(3)的厚度为0.1μm~0.5μm,方块电阻为20~150ohm/Sq。

9.根据权利要求1或2所述全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构,其特征是,硅片背面的TCO薄膜层(8)的厚度为50nm~500nm,所述背电极层(9)的厚度为10μm~100μm。

10.根据权利要求1或2所述全背电极P型晶硅异质结太阳电池结构,其特征是,所述开膜区(10)的宽度为1μm~50μm。

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