[实用新型]阵列基板结构及接触结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示装置，且特别是涉及用于显示装置的一种阵列基板结构及接触结构。

背景技术

为了实现高速影像处理以及高品质显示影像，近年来如彩色液晶显示装置的平面显示器已广泛地使用。于液晶显示装置中，通常包括两个上、下基板，以黏合或是封合材料接合在一起。而液晶材料被填入两个基板之间，为了保持两板之间固定的距离，具有一定粒径的颗粒被散布于上述两板之间。

通常，下基板表面形成有用来当作开关元件的薄膜晶体管，此薄膜晶体管具有连接于扫描线(scanning line)的栅极电极(gate electrode)、连接于信号线(signal line)的漏极电极(drain electrode)、与连接于像素电极(pixel electrode)的源极电极(source electrode)。而上基板置于下基板上方，此上基板表面形成有一滤光片与多个遮光材料(如由树脂黑矩阵(Resin BM)构成)。此两基板的周边具有封合材料黏合固定住，而两基板之间具有液晶材料。下基板亦称之为阵列基板(array substrate)，而形成于其上的如薄膜晶体管、接触物等数个元件则通常通过数道光刻制作工艺所制作而成。

然而，随着显示装置的影像的分辨率的提升趋势，便需要于下基板上形成如薄膜晶体管、接触物等尺寸更为缩减的数个元件时，提供可维持或提升显示装置的电性表现的如基板结构与接触物结构等元件结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种接触结构及阵列基板结构，以解决上述问题。

为达上述目的，本实用新型提供了一种接触结构，包括:一基板；一主动层，位于该基板上；一绝缘层，位于该主动层上；一层间介电层，位于该绝缘层上；一接触物开口，穿透该层间介电层与该绝缘层的一部，露出该主动 层的一部，其中该接触物开口包括一第一凹口部，而该第一凹口部由该层间介电层的一底面、该绝缘层的一侧壁以及该主动层的一顶面所定义而成；以及一导电层，填入该接触开口，并与该主动层电连接。

该接触结构还包括有一缓冲层，位于该基板与该主动层之间，其中该接触开口还穿透该主动层与该缓冲层的一部，以更露出该主动层、该缓冲层与该基板的一部，其中该接触开口还包括一第二凹口部，而该第二凹口部由该主动层的一底面、该缓冲层的一侧壁以及该基板的一顶面所定义而成，而该导电层亦顺应地设置于为该接触开口所露出的该缓冲层与该基板之上。

该绝缘层的该侧壁相距该接触开口所露出的该主动层的一侧壁一第一距离，而该缓冲层的该侧壁相距该接触开口所露出的该主动层的该侧壁一第二距离，而该第一距离大于该第二距离。

该第一距离介于0.05～0.5微米，及该第二距离介于0.01～0.5微米。

该主动层包括半导体材料。

本实用新型还提供了一种接触结构，包括：一基板；一绝缘层，位于该基板上；一主动层，位于该绝缘层的一部上；一第一层间介电层，位于该主动层上；一第二层间介电层，位于该第一层间介电层与该绝缘层上；一接触开口，穿透该第二层间介电层与该第一层间介电层的一部，露出该主动层的一部，其中该接触开口包括一第一凹口部，而该第一凹口部由该层间介电层的一底面、该第一层间介电层的一侧壁以及该主动层的一顶面所定义而成；以及一导电层，填入该接触开口，并与该主动层电连接。

该接触结构还包括一缓冲层，位于该基板与该绝缘层之间，其中该接触开口还穿透该主动层、该绝缘层与该缓冲层的一部，以露出该主动层、该绝缘层、该缓冲层与该基板的一部，其中该接触开口还包括一第二凹口部，而该第二凹口部由该主动层的一底面、该绝缘层的一侧壁以及该缓冲层的一顶面所定义而成。

该第一层间介电层的该侧壁距为该接触开口所露出的该主动层的一侧壁一第一距离，而该绝缘层的该侧壁距为该接触开口所露出的该主动层的该侧壁一第二距离，且该第一距离大于该第二距离。

该第一距离介于0.05～0.5微米，及该第二距离介于0.01～0.5微米。

该主动层包括半导体材料。