[实用新型]一种用于炉门的精确控制机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种主要应用于离子体增强化学气相淀积设备（PECVD）的反应炉体炉门中的安全有效的炉门精确控制机构，同时也适用于其他一些需要对炉门精确对准的设备。

背景技术

等离子体增强化学气相淀积设备（PECVD），是利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术。作为单晶硅和多晶硅电池片生产工艺的关键设备之一，其效率及稳定性关系到整条生产线的效率。在当今时代生产的稳定运行尤为重要，如何使设备稳定运行，作为PECVD设备中的一个部件，炉门机构的稳定性对整个设备的稳定性有很大影响。

电热炉是特制的高可靠性的发热体，是经过特殊工艺制成，它对恒温区的长度、精度及稳定度提供了基础，是影响成膜速率和均匀性的必要条件之一。工艺管是引进美国的.具有口径大、壁厚均匀无气泡的优良性，它水平置于炉体的中央，两端配有密封法兰，同时经特殊磨口为真空密封提供可靠保证。

目前，对于炉门的运动控制，在领域内应用最多的是旋转式炉门、步进电机炉门等方式。中国发明专利申请CN102719805A 公开了一种用于PECVD设备的自动炉门机构，该运动控制机构运用连杆控制炉门旋转，从而达到炉门的开启和闭合。该机构精度不高，缺少炉门与炉门口的对心功能，因而密封性能差，且运动空间大，体积和和总量比较大。

上述现有技术存在精度不够、结构相对复杂，以及占用空间大的缺陷，这对于PECVD设备行业对于设备占用空间及设备稳定性有着苛刻限制的要求是非常不利的。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述缺陷，本实用新型旨在提供一种PECVD炉门位置可调，控制精确，密封性能好的新型炉门精确控制机构，该炉门机构可以保证炉门和石英管门完全密封。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种PECVD炉门精确控制机构，其结构特点是，包括底座，固定安装在底座上的纵向移动机构，以及装在纵向移动机构上的横向移动机构；可沿着纵向移动机构纵向移动的所述横向移动机构上装有上支撑板，可沿着横向移动机构横向移动的该上支撑板通过一横向固定板与炉门的固定筒固定相连；所述上支撑板上有竖向布置的腰孔，所述横向固定板通过两个穿过所述腰孔的紧固件固定在上支撑板上；所述上支撑板上还设有横向设置的定位凸台，该定位凸台上设有对横向固定板进行竖向定位的定位机构。

由此，炉门横向移动机构与连接炉门固定桶的横向固定板采用腰孔的固定方式。这种方式可以实现炉门在上下方向进行微调，改变了以往炉门位置一旦确定就无法调整的缺陷。

以下为本实用新型的进一步改进的技术方案：

所述横向移动机构包括横向导轨和固定在纵向移动机构上的气缸，该气缸的活塞杆端与所述上支撑板固定相连，该上支撑板装在横向导轨上并在活塞杆的驱动下可沿着横向导轨往复移动。

所述横向移动机构的气缸为无杆双作用气缸。

所述横向移动机构采用心轴支撑在纵向移动机构上。

所述定位机构包括开设在定位凸台上的定位孔，以及装在定位孔上的定位螺钉，该定位螺钉的顶端与横向固定板接触；由此，炉门位置并不是固定的，可以通过横向移动机构进行横向校准，也可以通过定位螺钉对横向固定板进行竖向校准，从而达到对炉门的竖向校准。

上支撑板用于安装紧固螺钉的孔为腰孔，在一个腰孔上装有两个紧固螺钉，既能有效连接固定上支撑板和横向固定板，又能够让横向固定板相对上支撑板移动。

通过紧固螺钉可实现横向移动机构与横向固定板的初步连接和固定。这里紧固螺钉采用对称布置，保证了受力的均衡。

进一步，在横向固定板下还有定位螺钉，即可以通过定位螺钉来调整炉门位置，并且因为有定位螺钉的原因，在定位螺钉固定的情况下，炉门的位置并不会发生改变。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：，横向移动机构可以实现炉门的横向移动，而且运用了无杆气缸，可以满足小位移的动作。再结合炉门上下的定位机构，这就实现了炉门位置的精确定位。

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步阐述。

附图说明

图1是本实用新型一个实施例的结构原理图；

图2 是用于炉门竖直运动的部件示意图。

在图中：

1-炉门，2-固定筒，3-横向固定板，4-上支撑板，5-横向移动机构，6-纵向移动机构，7-紧固螺钉，8-定位螺钉，9-腰孔，10-定位孔。

具体实施方式