[实用新型]一种太阳能硅片清洗设备

权利要求书

1.一种太阳能硅片清洗设备，其特征在于，包括： 

一预清洗槽， 

一与预清洗槽依次相邻的第一碱槽、第二碱槽，碱清洗槽，以及第一漂洗槽、第二漂洗槽、第三漂洗槽和纯水槽， 

所述纯水槽，第三漂洗槽以及第二漂洗槽三者之间形成溢流效应，所述纯水槽内的液体从上部溢流至第三漂洗槽，再从第三漂洗槽上部溢流至第二漂洗槽， 

还包括一自来水管道，所述自来水管道分别连接预清洗槽和碱清洗槽的槽体中部位置， 

一纯水管道，所述纯水管道连接第一碱槽、第二碱槽，第一漂洗槽、第三漂洗槽和纯水槽， 

一排水管道，所述排水管道与上述各个槽体的底部连接。 

2.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片清洗设备，其特征在于，所述预清洗槽分成相邻设置的鼓泡和超声波清洗两个工位。 

3.根据权利要求1所述的一种太阳能硅片清洗设备，其特征在于，还包括一辅槽和一与辅槽连接的循环水管道，所述循环水管道将所述第一漂洗槽和第二漂洗槽相互连通，所述辅槽将第二漂洗槽的液体抽入第一漂洗槽中。