[实用新型]一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置有效
申请号: | 201420275408.5 | 申请日: | 2014-05-27 |
公开(公告)号: | CN203922735U | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 田清明;王惠 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/03 | 分类号: | C01B33/03 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 炉硅芯 夹持 装置 | ||
1.一种多晶硅还原炉硅芯夹持装置,包括:卡帽和能够夹持硅芯的根部的卡瓣,卡帽与卡瓣卡接,其特征在于,所述装置还包括能够在硅芯生长过程中支撑硅芯并能将气流输送至硅芯的根部的支撑部件,所述支撑部件设置于卡帽的上表面。
2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述支撑部件包括多个凸台,所述凸台对称设置于所述卡瓣的外周,每两个凸台之间形成凹槽。
3.如权利要求2所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述凸台呈十字形或一字形设置于所述卡瓣的外周。
4.如权利要求2所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述凸台的上表面低于所述卡瓣的顶端。
5.如权利要求4所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述凸台的上表面比所述卡瓣的顶端低15-20mm。
6.如权利要求4所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述凸台的高度为20-28mm。
7.如权利要求1-6任一项所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述卡帽与卡瓣卡接,并形成容置空间;
所述装置还包括底座,底座与所述卡帽螺纹连接,并容置于所述容置空间中,底座的上表面与卡瓣的下表面接触。
8.如权利要求7所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述卡帽的侧壁上设置有用于连通所述容置空间和外部空气的通孔。
9.如权利要求1所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,所述支撑部件包括一个环状的凸台,该环状的凸台设置于卡瓣的外周。
10.如权利要求9所述的多晶硅还原炉硅芯夹持装置,其特征在于,在所述环状的凸台上设置有多个能够将气流输送至硅芯的根部的穿孔。
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