[实用新型]一种精密定位装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种精密定位装置，其属于压电驱动技术领域。

背景技术：

近年来，随着科学技术的发展，光学、电子、航空航天等领域都迫切需要高精度、高分辨率、控制灵活的微定位装置，用以直接进行工作或配合其它仪器设备完成高精度的微定位，微定位装置的研究和设计在越来越广的范围内得到人们的重视。目前，功能材料的主要种类有压电陶瓷材料、形状记忆材料、电致伸缩材料、光导纤维、电(磁)流变液、磁致伸缩材料、智能高分子材料等。而基于压电陶瓷的微定位系统是其中一个很重要的方面，主要是因为压电陶瓷具有控制精度高，响应速度快，功耗低，不受电磁干扰，适用于真空和超净环境等优点。由于压电陶瓷自身的上述优点，近年来越来越多地采用压电陶瓷作为微定位系统的功能材料，对压电陶瓷构造微定位装置的性能研究也成为热点。

当对压电陶瓷施加一定幅值的电压时，在压电材料的逆压电效应作用下，压电陶瓷就可以产生一定的变形。同时由于它的高速响应特性，如果对它施加突变电压，压电陶瓷就可以产生突变的力或位移。将压电陶瓷作为激励元件，通过施加电信号，经电—机转换的方式形成惯性冲击，也就成为惯性冲击作用产生驱动的一种方式。因此采用压电陶瓷作为功能材料，基于惯性冲击原理研制的精密定位装置在精密定位领域的研究中具有重大的意义。

实用新型内容：

本实用新型所要解决的技术问题是针对背景技术的缺陷，提供一种定位分辨率达到微米级的精密定位装置。

本实用新型采用如下技术方案：一种精密定位装置，包括底座及安装于底座上的若干个驱动足，所述若干个驱动足在底座上安装后形成有用来夹持固定待定位物体的空间，所述每一个驱动足包括与待定位物体相点接触的抱爪，安装于抱爪下方的依次排列的第一柔性足和第二柔性足，安装于第一柔性足和第二柔性足之间的且依次排列的第一支撑块、压电陶瓷片、上楔形垫块、下楔形垫块、半球垫块及第二支撑块，所述第一支撑块和第二支撑块上分别形成有一横向方向延伸的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和第二通孔中分别穿设有第一支撑轴和第二支撑轴，所述精密定位装置还包括有卡簧和弹性线圈，所述卡簧的两端分别套设于所述第一支撑轴和第二支撑轴的外端面上用以控制压电陶瓷片的伸缩，所述弹性线圈套设于所述若干个抱爪的外围进而提高抱爪和待定位物体之间的摩擦力。

进一步地，所述抱爪包括上下端面和四个侧面，所述四个侧面分别为相对的两个半圆柱面和相对的两个矩形平面，在其中一个矩形平面上加工有两个半球形凹坑，所述凹坑中收容有与所述待定位物体相点接触的陶瓷球，所述凹坑面的直径与所述陶瓷球的直径相同。

进一步地，所述第一通孔的直径与所述第一支撑轴的直径相同，所述第二通孔与所述第二支撑轴的直径相同，所述精密定位装置还包括有安装于所述第一支撑轴的外端面上且位于拉簧的上末端的外侧的第一防松垫圈及安装在第二支撑轴的外端面上且位于拉簧的下末端的外侧的第二防松垫圈。

进一步地，所述第一柔性足采用黄铜制成，所述第一柔性足的两端加工有外螺纹，所述抱爪内部加工有与所述第一柔性足上端的外螺纹相配合的内螺纹，所述第一支撑块的内部加工有与所述第一柔性足下端的外螺纹相配合的内螺纹。

进一步地，所述第二柔性足采用黄铜制成，所述第二柔性足的两端加工有外螺纹，所述第二支撑块的内部加工有与所述第二柔性足上端的外螺纹相配合的内螺纹，所述底座上加工有与所述第二柔性足下端的外螺纹相配合的内螺纹。

进一步地，所述拉簧采用弹簧钢制成，所述拉簧由六个首尾相接的且直径相同的圆环组成。

进一步地，所述第一防松垫圈和第二防松垫圈均为一个有缺口的圆环，所述带有缺口的圆环的尺寸等于所述拉簧圆环的尺寸。

进一步地，所述上楔形垫块和下楔形垫块端面的斜面倾角为4°。

进一步地，所述半球垫块的上端面为半圆柱面，下端面为平面。

本实用新型具有如下有益效果：本实用新型精密定位装置是在压电陶瓷片通电后伸长输出一微小位移，推动抱爪输出一微小位移，则待定位物体在抱爪的夹持下也跟着输出一微小位移，这样待定位物体的分辨率可以达到跟压电陶瓷片相同的数量级，在整个过程中待定位物体的启动、停止和分辨率完全由压电陶瓷片控制，因此可以实现很好的控制精度和高分辨率，通过该精密定位装置可以实现物体微米级别(<5um)的精密定位，对于精密定位领域的研究具有重大意义。

附图说明：

图1是压电陶瓷预紧结构示意图。

图2是驱动足结构示意图。

图3是精密定位装置总体结构示意图。