[实用新型]一种应用于导模法生长宽厚片晶体的实用模具有效
申请号: | 201420244795.6 | 申请日: | 2014-05-14 |
公开(公告)号: | CN203820922U | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 杜小红;钱梅仙;汪传勇;于海群;张寒贫 | 申请(专利权)人: | 江苏苏博瑞光电设备科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 221200 江苏省徐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 导模法 生长 宽厚 晶体 实用 模具 | ||
技术领域
本实用新型涉及晶体生长装置,特别涉及一种应用于导模法生长宽厚片晶体的实用模具。
背景技术
蓝宝石(Sapphire)是一种氧化铝(α-Al2O3)的单晶,又称为刚玉。蓝宝石晶体具有独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能,作为一种重要的技术晶体,已被广泛地应用于科学技术、国防与民用工业的许多领域。蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐冲刷,可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作,广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。
用于民用航天、军工等,如透波窗口、整流罩、光电窗口、护板、陀螺、耐磨轴承等部件。军用光电设备, 如:光电吊舱 、光电跟踪仪、红外警戒系统 、潜舰光电桅杆等。
蓝宝石晶体在民用领域的应用,如条码扫描仪的扫描窗口,永不磨损型雷达表的表蒙,纺织工业的纤维导丝器,照相机外护镜头,耐磨轴承。
现有的导模法(EFG)在生长较厚蓝宝石(或其它晶体)晶片时,如果晶片厚度大于10mm,则存在长晶厚度不匀或厚度方向放肩困难。在生长厚片晶片时存在供料不足,导致拉速慢,严重影响长晶速率。
例如,CN203128689U公开了一种用于导模法生长蓝宝石的板状模具,板状模具由置于模具中间的A 板状钼片,及分别置于A 板状钼片两侧的B 板状钼片和C 板状钼片组合而成,且下部两端均具有脚,所述板状钼片之间具有间隙状生长缝,可以同时生长出没有生长纹的两块板状蓝宝石晶体,且便于观察到生长情况;保证质量的同时增加了产量、节约了成本。但是板状钼片之间具有间隙状生长缝是用于生长两片晶体用,即晶体是生长在板状钼片的间隙中。但是当生长宽厚晶片时,如果板状钼片的间隙过小则严重影响供料速度,进而影响长晶速度;如果板状钼片的间隙过大,则熔体的爬行高度受限,熔体甚至无法沿过大的毛细缝向上爬升,存在长晶厚度不匀或厚度方向放肩困难,在生长厚片晶片时存在供料不足,导致拉速慢,严重影响长晶速率等弊端。
CN202482487U公开了一种导模法晶体多模具生长装置,包括有坩埚,坩埚内固定安装有多组模具,多组模具之间通过钼块相互隔开,每组模具分别包括两个钼片,两个钼片之间具有间隙,两个钼片的底部分别设有进料口。本实用新型结构合理,在一个晶体生长坩埚中安装多个模具,从而实现多模具同时生长,取代了常规的导模法单片生长方式,提高了生产效率,降低了生产时间,生长相同单位重量的晶体时降低了能耗,节约了成本。
进一步地,如果模具开口夹角≤90°,还存在出料口距模具口高度过大,尤其是生长厚片时高度差更大,溶液沿模具内壁面爬行困难。在生长厚片晶片时,模具开口夹角≤90°时使得溶液与模具内壁面接触面积偏大,容易在固液界面处卷入气泡,从而使生长出的晶体品质下降。
实用新型内容
本实用新型克服了现有技术的不足,解决导模法生长厚片晶片时放肩困难、厚度不匀、供料不足拉速慢、熔体爬行困难、长厚片时易卷入气泡等一系列问题。提供一种应用于导模法生长宽厚片晶体的实用模具。
一种应用于导模法生长宽厚片晶体的实用模具,包括第一侧板、第二侧板、隔板和隔条;若干隔板相互平行设置,若干隔条竖直设置在隔板之间,将隔板之间的缝隙隔开形成若干毛细缝(毛细管)。多条毛细缝增加了单位时间内的供料量,使供料速度明显提高,因此可以提高晶体生长拉速,从而提高生产效率。其次,它解决了在生长厚片晶体时厚度方向放肩困难这一难题,由于供料速度提升,使得在厚度方向放肩时变得容易,生长的晶片厚度更加均匀。
隔板设置在第一侧板和第二侧板之间,隔板、第一侧板和第二侧板通过铆钉固定,铆钉横穿隔板、第一侧板和第二侧板。
第一侧板、第二侧板均包括模具下吸料端和模具出料端,模具出料端为斜面,第一侧板、第二侧板的模具出料端的斜面端相对设置,第一侧板和第二侧板的斜面形成120°~180°的夹角。比目前常用模具通常采用小于或等于90°的夹角在提高熔体爬升高度方面更加具有优势,它减小了模具出料口和模具口间的高度差,使得这两口之间的温差减小,在厚度方向上的结晶前沿温度均匀性更加合理。模具钝角开口(120°≤θ≤180°)相对于目前常用模具的锐角开口具有更小的接触面积,减小了固液界面卷入气泡的概率,有利于提高晶体品质。
第一侧板、第二侧板的模具下吸料端中部设置有凹面。这样,第一侧板、第二侧板的模具下吸料端的两边形成脚,有利于熔体进入隔板下端面的吸料口。
较优地,隔条厚度为0.1mm~0.5mm,满足熔体在毛细缝中爬行。毛细缝宽度为0.1mm~0.5mm。
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