[实用新型]波长片消光曲线测量装置有效

专利信息
申请号: 201420231346.8 申请日: 2014-05-07
公开(公告)号: CN203798542U 公开(公告)日: 2014-08-27
发明(设计)人: 郑连生 申请(专利权)人: 上海联能光子技术有限公司
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02
代理公司: 上海开祺知识产权代理有限公司 31114 代理人: 李兰英
地址: 201821 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 波长 片消光 曲线 测量 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种消光曲线测量装置,具体的是涉及一种波长片消光曲线测量装置。

背景技术

波长片(简称波片)作为光学相位延迟器件是现代偏振光学和激光应用技术中应用的最为广泛的器件之一。而作为波长片所要求的质量很高。如要求平行度误差在1-2″的范围内,厚度的公差<0.3微米。这就要求在制作加工时,严格地控制其加工厚度。为了测量波长片的相位延迟特性,以此在加工时,控制波长片的加工厚度,需要较精密的测量装置。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种波长片消光曲线测量装置,可较精密地测量波长片的相位延迟特性,并以此控制其加工厚度,具有结构简单,操作方便等特点。

为达到上述目的,本实用新型的技术方案是:

一种波长片消光曲线测量装置,它包括暗箱,置于暗箱内的光源,在暗箱内,在光源发射光束前进的方向上依次置有起偏器,置放待测波长片的中心带有转台通光孔的旋转载物台,检偏器,置放检偏器的中心带有转架通光孔的旋转支架,接收器,置于暗箱外的输入端与接收器输出端相连接的信号处理器。

进一步,所述接收器是光电接收器。

又,所述信号处理器是计算机。

另外,本实用新型所述信号处理器是计算机及连接的打印机。

如上述本实用新型的结构,开始测量时,调节检偏器的旋转支架使检偏器与起偏器的偏振轴调至平行状态,此时,信号处理器从接收器的输出接收到光谱透过的最大值。假如,选用的测量光谱(光源发射光谱)是1064nm,待测波长片是1064nm1/2波长片,当待测波长片置放在旋转载物台上,旋转旋转载物台使光谱透过达到最小值(上述操作过程均在暗箱内进行)。则在信号处理器上可以扫描出一组消光曲线。在该消光曲线上可找到测量点。因为上述选用的测量光谱是1064nm,所以,只有1064nm这个消光点是测量点。如果消光曲线的低谷落在1065nm的位置上,说明待测波长片的精度误差为1nm。它的延迟精度为1/1064。通常对于λ/300(λ为1个波长)的延迟精度,只允许有3nm。如果,超出这个误差,就要继续对待测波长片进行研磨,直到合格为止。

本实用新型的优点在于:

如上述本实用新型的结构,其结构简单,操作方便。因为操作方便,所以能够在加工波长片时,在线测量该波长片的消光曲线,也就能够在线控制加工波长片的厚度。如上述本实用新型的结构能够测量多种波长片的消光曲线,如全波长片、1/4波长片、1/2波长片的消光曲线。因此,也就能够以测得的这些波长片的消光曲线控制所有这些波长片的加工厚度。测量误差<0.001nm。

附图说明

图1是本实用新型波长片消光曲线测量装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图进一步说明本实用新型消光曲线测量装置的结构特征。

如图1所示,本实用新型的消光曲线测量装置,它包括暗箱11,置于暗箱11内的光源1,在暗箱11内,在光源1发射光束前进的方向上依次置有起偏器2,置放待测波长片3的中心带有转台通光孔10的旋转载物台4,检偏器5,置放检偏器5的中心带有转架通光孔9的旋转支架6,接收器7,置于暗箱11外的输入端与接收器7输出端相连接的信号处理器8。

所述接收器7是光电接收器。在本实施例中,所述接收器7接收的波长为193nm-2500nm。

所述信号处理器8是计算机。或者所述信号处理器8是计算机及连接的打印机。

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