[实用新型]一种蒸镀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域的制造设备，尤其涉及一种蒸镀装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，简称OLED)是一种有机薄膜电致发光器件，其具有易形成柔性结构、视角宽等优点；因此，利用有机发光二极管的显示技术已成为一种重要的显示技术。

OLED的全彩显示一般包括R(红)G(绿)B(蓝)子像素独立发光、或白光OLED结合彩色滤光膜等方式。其中，RGB子像素独立发光是目前采用最多的彩色模式，其是利用子像素单元中的有机发光材料独立发光。

目前，有机发光材料层一般都是通过对有机材料进行真空蒸发镀膜形成。其中，对于RGB子像素独立发光的OLED，由于每个RGB子像素单元采用不同的有机发光材料，因而RGB子像素单元的有机发光层需要分别进行蒸镀，在此过程中一般采用金属掩模板，使其开口区域与子像素区域对准来在不同子像素区域蒸镀不同颜色的发光材料。

然而，由于金属掩模板比较薄，一般只有几十微米厚，很容易发生形变，因而在实际使用中不可避免的会导致其与待蒸镀基板贴合的不紧，从而使得在蒸镀有机发光材料时，不能形成正确的图案。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种蒸镀装置，可使金属掩模板与待蒸镀基板紧密贴合，从而在子像素单元蒸镀时形成正确的图案；在此基础上，可使作用于金属掩膜板的磁场均匀，避免由于磁场不均而对上述图案造成影响。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔室、设置于蒸镀腔室内的蒸镀源、掩模板支撑架和基板支撑架，所述掩模板支撑架用于承载金属掩模板，所述基板支撑架用于承载待蒸镀基板，且所述金属掩模板设置于所述蒸镀源和所述待蒸镀基板之间；所述蒸镀装置还包括：设置于所述蒸镀腔室内的吸附装置；

其中，所述吸附装置包括：设置于所述待蒸镀基板远离所述金属掩模板一侧的多个呈矩阵排列的磁块，以及用于调节每个所述磁块相对所述待蒸镀基板上下移动的牵引装置。

可选的，所述牵引装置包括设置于所述磁块上方、且与所述磁块一一对应的多个调节棒；其中，一个所述调节棒与对应的一个所述磁块连接，用于带动所述磁块上下移动。

进一步可选的，所述调节棒的表面具有螺纹；所述磁块相对所述调节棒的表面具有螺孔，所述螺孔与所述调节棒表面的螺纹相吻合。

进一步可选的，所述牵引装置还包括固定所述调节棒的固定板；其中，所述固定板具有与所述调节棒对应个数的贯穿孔，且所述贯穿孔的表面具有两个相对的凹槽；所述调节棒穿过所述贯穿孔，且在所述调节棒的高度方向上，所述调节棒的表面具有多对弹性凸起，每对凸起与位于所述贯穿孔表面的所述凹槽相匹配。

进一步可选的，所述固定板通过与固定在所述蒸镀腔室上底面的升降机构连接，所述升降机构用于带动所述固定板上下移动。

可选的，所述牵引装置还包括控制任一个所述调节棒上下移动的控制器。

基于上述，可选的，所述蒸镀装置还包括设置于所述蒸镀腔室侧壁上的伸缩支撑架，所述伸缩支撑架沿垂直所述蒸镀腔室侧壁的方向伸缩。

进一步可选的，所述蒸镀装置还包括设置于所述蒸镀腔室外侧且与所述伸缩支撑架相连的驱动装置；其中，所述驱动装置用于控制所述伸缩支撑架的伸缩。

可选的，所述吸附装置还包括用于承载所述磁块的磁块支撑板；

所述磁块支撑板包括多个活动块，任一个所述活动块的表面积大于与所述活动块接触的所述磁块的表面积；所述牵引装置牵引多个任一个所述活动块相对所述待蒸镀基板上下移动。

进一步可选的，所述牵引装置包括设置于每个所述活动块四个角的牵引棒以及与所述牵引棒连接的控制装置，用于带动所述活动块上下移动。

本实用新型实施例提供了一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔室、设置于蒸镀腔室内的蒸镀源、掩模板支撑架和基板支撑架，所述掩模板支撑架用于承载金属掩模板，所述基板支撑架用于承载待蒸镀基板，且所述金属掩模板设置于所述蒸镀源和所述待蒸镀基板之间；所述蒸镀装置还包括：设置于所述蒸镀腔室内的吸附装置；其中，所述吸附装置包括：设置于所述待蒸镀基板远离所述金属掩模板一侧的多个呈矩阵排列的磁块，以及用于调节每个所述磁块相对所述待蒸镀基板上下移动的牵引装置。