[实用新型]一种蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔室、设置于蒸镀腔室内的蒸镀源、掩模板支撑架和基板支撑架，所述掩模板支撑架用于承载金属掩模板，所述基板支撑架用于承载待蒸镀基板，且所述金属掩模板设置于所述蒸镀源和所述待蒸镀基板之间；其特征在于，所述蒸镀装置还包括：设置于所述蒸镀腔室内的吸附装置；

其中，所述吸附装置包括：设置于所述待蒸镀基板远离所述金属掩模板一侧的多个呈矩阵排列的磁块，以及用于调节每个所述磁块相对所述待蒸镀基板上下移动的牵引装置。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述牵引装置包括设置于所述磁块上方、且与所述磁块一一对应的多个调节棒；

其中，一个所述调节棒与对应的一个所述磁块连接，用于带动所述磁块上下移动。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述调节棒的表面具有螺纹；

所述磁块相对所述调节棒的表面具有螺孔，所述螺孔与所述调节棒表面的螺纹相吻合。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述牵引装置还包括固定所述调节棒的固定板；

其中，所述固定板具有与所述调节棒对应个数的贯穿孔，且所述贯穿孔的表面具有两个相对的凹槽；所述调节棒穿过所述贯穿孔，且在所述调节棒的高度方向上，所述调节棒的表面具有多对弹性凸起，每对凸起与位于所述贯穿孔表面的所述凹槽相匹配。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述固定板通过与固定在所述蒸镀腔室上底面的升降机构连接，所述升降机构用于带动所述固定板上下移动。

6.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述牵引装置还包括控制任一个所述调节棒上下移动的控制器。

7.根据权利要求2至6任一项所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括设置于所述蒸镀腔室侧壁上的伸缩支撑架，所述伸缩支撑架沿垂直所述蒸镀腔室侧壁的方向伸缩。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括设置于所述蒸镀腔室外侧且与所述伸缩支撑架相连的驱动装置；其中，所述驱动装置用于控制所述伸缩支撑架的伸缩。

9.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述吸附装置还包括用于承载所述磁块的磁块支撑板；

所述磁块支撑板包括多个活动块，任一个所述活动块的表面积大于与所述活动块接触的所述磁块的表面积；

所述牵引装置牵引任一个所述活动块相对所述待蒸镀基板上下移动。

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述牵引装置包括设置于每个所述活动块四个角的牵引棒，用于带动所述活动块上下移动。