[实用新型]具有吸光层的感光层结构有效
| 申请号： | 201420211906.3 | 申请日： | 2014-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN203882091U | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 吴钟达 | 申请（专利权）人： | 吴钟达 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/20;H01L21/027;G03G5/147 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 史霞 |
| 地址： | 中国台湾台北市大安区*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 吸光层 感光 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种感光层结构，其特征在于，包括：
一光刻胶层；及
至少一吸光层，该吸光层涂布在该光刻胶层的顶部与底面的至少其中之一；
其中，该吸光层能够吸收部份特定波长的曝光光线。
2.如权利要求1所述的感光层结构，其特征在于，该光刻胶层为干膜光刻胶或湿膜光刻胶。
3.如权利要求1所述的感光层结构，其特征在于，该吸光层是涂布在该光刻胶层的顶部与底面。
4.如权利要求1所述的感光层结构，其特征在于，还包括一保护离形膜，该保护离形膜贴附在该感光层结构的最顶部。
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